硅集成電路芯片工廠設(shè)計規(guī)范GB50809-2012

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

多晶硅工廠設(shè)計規(guī)范

Codefordesignofpolysiliconplant

GB51034-2014

 

　　主編部門：中國有色金屬工業(yè)協(xié)會

　　批準(zhǔn)部門：中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

　　施行日期：2015年5月1日

　　中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部公告

　　第530號

　　住房城鄉(xiāng)建設(shè)部關(guān)于發(fā)布國家標(biāo)準(zhǔn)《多晶硅工廠設(shè)計規(guī)范》的公告

　　現(xiàn)批準(zhǔn)《多晶硅工廠設(shè)計規(guī)范》為國家標(biāo)準(zhǔn)，編號為GB51034-2014，自2015年5月1日起實施。其中，第4.2.8、6.1.3(9)、6.1.6(3)、6.2.8(3)、8.1.1、8.2.1(2、3、5)、8.2.5(3)、8.3.1(2、3)、8.3.2(2)、8.6.4、9.1.3、9.3.4、9.4.3、9.5.2、10.1.3、10.3.4、10.3.6、10.3.9、11.1.6、11.2.3、12.2.5條(款)為強制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

　　本規(guī)范由我部標(biāo)準(zhǔn)定額研究所組織中國計劃出版社出版發(fā)行。

　　中華人民共和國住房和城鄉(xiāng)建設(shè)部

2014年8月27日

前言

　　本規(guī)范是根據(jù)住房城鄉(xiāng)建設(shè)部《關(guān)于印發(fā)<2011年工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范制訂、修訂計劃>的通知》(建標(biāo)[2011]17號)的要求，由中國有色工程有限公司、中國恩菲工程技術(shù)有限公司會同有關(guān)單位共同編制完成的。

　　在本規(guī)范編制過程中，編制組進(jìn)行了廣泛深入的調(diào)查研究，認(rèn)真總結(jié)了我國多晶硅行業(yè)的設(shè)計、科研、建設(shè)和管理經(jīng)驗，并在廣泛征求意見的基礎(chǔ)上，通過反復(fù)討論、修改和完善，最后經(jīng)審查定稿。

　　本規(guī)范共分12章和3個附錄，主要內(nèi)容包括：總則，術(shù)語，基本規(guī)定，廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃，工藝設(shè)計，電氣及自動化，輔助設(shè)施，建筑結(jié)構(gòu)，給水、排水和消防，采暖、通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)，環(huán)境保護(hù)、安全和衛(wèi)生，節(jié)能、余熱回收等。

　　本規(guī)范中以黑體字標(biāo)志的條文為強制性條文，必須嚴(yán)格執(zhí)行。

　　本規(guī)范由住房城鄉(xiāng)建設(shè)部負(fù)責(zé)管理和對強制性條文的解釋，由中國有色金屬工業(yè)工程建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范管理處負(fù)責(zé)日常管理工作，由中國恩菲工程技術(shù)有限公司負(fù)責(zé)具體技術(shù)內(nèi)容的解釋。在本規(guī)范執(zhí)行過程中如有意見和建議，請寄送中國恩菲工程技術(shù)有限公司(地址：北京市海淀區(qū)復(fù)興路12號，郵政編碼：100038)，以供今后修訂時參考。

　　本規(guī)范主編單位、參編單位、參加單位、主要起草人和主要審查人：

　　主編單位：中國有色工程有限公司

　　中國恩菲工程技術(shù)有限公司

　　參編單位：華陸工程科技有限公司

　　洛陽中硅高科技有限公司

　　多晶硅制備技術(shù)國家工程實驗室

　　江西賽維LDK光伏硅科技有限公司

　　參加單位：國電內(nèi)蒙古晶陽能源有限公司

　　昆明冶研新材料股份有限公司

　　主要起草人：嚴(yán)大洲楊永亮毋克力肖榮暉湯傳斌鄭紅梅羅英陳希勇吳崇義唐廣懷陳維平薛民權(quán)付小林姚又省楊健吳昌元朱齡趙曉靜李超楊志國孫兵司文學(xué)姜利霞張升學(xué)謝冬暉萬燁王利強高曉輝

　　主要審查人：朱黎輝袁桐楊鐵榮賀東江周齊領(lǐng)江元升陳廷顯崔樹玉銀波劉毅

以下規(guī)范內(nèi)容由合景凈化工程公司http://m.hardtofindfoods.com/進(jìn)行整理編輯

1總則

　　1.0.1為規(guī)范多晶硅工廠的工程設(shè)計，提高工程設(shè)計質(zhì)量，做到技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟合理、安全可靠、環(huán)保節(jié)能，制定本規(guī)范。

　　1.0.2本規(guī)范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建、擴建和改建多晶硅工廠的工程設(shè)計，也適用于硅烷歧化法多晶硅廠中三氯氫硅合成、四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設(shè)計。

　　1.0.3多晶硅工廠設(shè)計應(yīng)積極采用節(jié)能、環(huán)保、高效、先進(jìn)的裝備和工藝，提高資源、能源利用率，實現(xiàn)物料、能源綜合利用和清潔生產(chǎn)。

　　1.0.4多晶硅工廠設(shè)計除應(yīng)符合本規(guī)范外，尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

2術(shù)語

　　2.0.1三氯氫硅氫還原法trichlorosilanehydrogenreduc-tionprocess

　　經(jīng)過不斷完善的多晶硅生產(chǎn)主流工藝，是將高純?nèi)葰涔枧c高純氫氣按一定比例通入還原爐，發(fā)生還原或熱分解反應(yīng)，在1050℃左右的高純硅芯基體表面上沉積生長多晶硅;同時具備回收、利用生產(chǎn)過程中伴隨產(chǎn)生的氫氣、氯化氫、四氯化硅等副產(chǎn)物以及副產(chǎn)熱能，最大限度地實現(xiàn)“物料內(nèi)部循環(huán)、能量綜合利用”的多晶硅生產(chǎn)工藝。

　　2.0.2多晶硅polysilicon

　　單質(zhì)硅的一種形態(tài)，硅原子以晶格形態(tài)排列成許多晶核，晶核長成晶面取向不同的晶粒，晶粒組合結(jié)晶成多晶硅。根據(jù)用途可分為太陽能級和半導(dǎo)體級。

　　2.0.3還原尾氣干法回收reductionoff-gasrecoverybydrymethod

　　一種相對于傳統(tǒng)濕法回收尾氣工藝的方法，利用尾氣中各組分物理化學(xué)性質(zhì)的差異采用冷凝、吸收、解析、吸附等方法，將其逐一分開回收、提純，再重新返回生產(chǎn)系統(tǒng)循環(huán)利用。

　　2.0.4四氯化硅氫化silicontetrachloridehydrogenation

　　一種處理多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅的方法，與氫反應(yīng)將其轉(zhuǎn)換成三氯氫硅。

　　2.0.5三氯氫硅合成trichlorosilanesynthesis

　　一種制取三氯氫硅的方法，將硅粉和氯化氫通入有一定溫度的反應(yīng)器內(nèi)通過化學(xué)反應(yīng)生成三氯氫硅。

　　2.0.6氯硅烷精餾chlorosilanedistillation

　　一種通過氣液交換，實現(xiàn)傳質(zhì)、傳熱，使氯硅烷混合物得到高純度分離的方法。

　　2.0.7液氯汽化liquidchlorinevaporization

　　一種將液氯加熱蒸發(fā)成氯氣的方法。

　　2.0.8氯化氫合成hydrogenchloridesynthesis

　　通過化學(xué)反應(yīng)將氫氣、氯氣生成氯化氫氣體的方法。

　　2.0.9鹽酸解析hydrochloricacidstripping

　　一種將氯化氫從鹽酸中解析出來的方法。

　　2.0.10還原爐reductionreactor

　　一種生產(chǎn)棒狀多晶硅的專用設(shè)備。

　　2.0.11二氯二氫硅反歧化inversedisproportionatingofdi-chlorosilane

　　一種回收利用二氯二氫硅的方法，通過化學(xué)反應(yīng)將二氯二氫硅與四氯化硅轉(zhuǎn)化成三氯氫硅。

　　2.0.12多晶硅后處理polysiliconhandling

　　根據(jù)客戶和產(chǎn)品分析檢測的要求，多晶硅出爐后進(jìn)一步處理的統(tǒng)稱，包括切除頭尾、鉆棒、滾圓、破碎、分揀、稱重、腐蝕、清洗、干燥及包裝等。

　　2.0.13氯硅烷chlorosilane

　　硅烷(SiH4)中的氫原子部分或全部被氯原子取代后的物質(zhì)統(tǒng)稱。通常包括四氯化硅(SiCl4)、三氯氫硅(SiHCl3)、二氯二氫硅(SiH2Cl2)、一氯三氫硅(SiH3Cl)等。

　　2.0.14還原尾氣reductionoff-gas

　　還原爐內(nèi)生成多晶硅的反應(yīng)過程中未參與反應(yīng)的原料和生成的副產(chǎn)物的混合氣體，主要包括氫氣、氣態(tài)氯硅烷及氯化氫等。

　　2.0.15防爆防護(hù)墻explosion-proofprotectivewall

　　具有一定防爆能力的隔墻，能防止爆炸產(chǎn)生的飛散物對設(shè)施及人員的傷害。

3基本規(guī)定

　　3.0.1太陽能級多晶硅工廠的設(shè)計規(guī)模應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)光伏制造行業(yè)規(guī)范條件的要求。

　　3.0.2多晶硅工廠應(yīng)采用符合國家現(xiàn)行有關(guān)光伏制造行業(yè)規(guī)范條件要求的先進(jìn)工藝技術(shù)、節(jié)能環(huán)保的工藝設(shè)備以及安全設(shè)施。

　　3.0.3多晶硅工廠設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《多晶硅企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限額》GB29447等有關(guān)安全、環(huán)保、節(jié)能、消防以及勞動衛(wèi)生的規(guī)定。

4廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃

4.1廠址選擇

　　4.1.1廠址選擇應(yīng)符合國家產(chǎn)業(yè)政策、用地政策、區(qū)域規(guī)劃及行業(yè)專項規(guī)劃的要求，并應(yīng)按國家有關(guān)法律、法規(guī)及前期工作的規(guī)定進(jìn)行。

　　4.1.2廠址選擇時，應(yīng)對建廠條件進(jìn)行調(diào)查，應(yīng)論證和評價廠址對當(dāng)?shù)亟?jīng)濟、社會和環(huán)境的影響，并應(yīng)滿足防災(zāi)、安全、環(huán)保及衛(wèi)生防護(hù)的要求。

　　4.1.3廠址選擇應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)總平面設(shè)計規(guī)范》GB50187及《化工企業(yè)總圖運輸設(shè)計規(guī)范》GB50489的相關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)光伏制造行業(yè)規(guī)范條件的要求。

　　4.1.4廠址宜布局于能源充足、水資源有保障、基礎(chǔ)設(shè)施配套成熟、產(chǎn)業(yè)鏈布局合理的化工園區(qū)，宜采用電廠-多晶硅-化工聯(lián)營的建廠模式。

　　4.1.5廠址應(yīng)具有滿足工程建設(shè)要求的工程地質(zhì)和水文地質(zhì)條件，并應(yīng)避開有用礦藏和文物遺址區(qū)。

　　4.1.6廠址應(yīng)位于城鎮(zhèn)、居民區(qū)、工業(yè)園區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，不應(yīng)選在窩風(fēng)及全年靜風(fēng)頻率較高的區(qū)域。

　　4.1.7配套居住區(qū)應(yīng)與廠區(qū)用地同時選擇，并宜依托當(dāng)?shù)爻擎?zhèn)的居住設(shè)施。

　　4.1.8廠址標(biāo)高宜高于防洪標(biāo)準(zhǔn)的洪水位0.5m以上;不能滿足要求時，廠區(qū)應(yīng)有防洪設(shè)施，并應(yīng)在初期工程中一次建成。當(dāng)廠址位于內(nèi)澇地區(qū)，并有排澇設(shè)施時，廠址標(biāo)高應(yīng)高于設(shè)計內(nèi)澇水位0.5m以上。

　　4.1.9廠址選擇應(yīng)利用荒地、劣地、山坡地及非耕地，并應(yīng)促進(jìn)建設(shè)用地的集約利用和優(yōu)化配置。

4.2廠區(qū)規(guī)劃

　　4.2.1廠區(qū)近期規(guī)劃應(yīng)與企業(yè)長遠(yuǎn)發(fā)展、區(qū)域規(guī)劃相一致，宜利用城市或園區(qū)已有的水、電、汽、消防、污水處理等公用設(shè)施;分期建設(shè)的工廠，近遠(yuǎn)期工程應(yīng)統(tǒng)一規(guī)劃，近期工程應(yīng)集中、緊湊、合理布置，并應(yīng)與遠(yuǎn)期工程合理銜接。

　　4.2.2廠區(qū)應(yīng)根據(jù)工廠規(guī)模、生產(chǎn)工藝流程、運輸、環(huán)保、防火、安全、衛(wèi)生等要求，并結(jié)合當(dāng)?shù)刈匀粭l件規(guī)劃。

　　4.2.3廠區(qū)規(guī)劃應(yīng)利用地形、地勢、工程地質(zhì)及水文地質(zhì)條件，合理布置建(構(gòu))筑物，并應(yīng)減少土(石)方工程量和基礎(chǔ)工程費用。

　　4.2.4廠區(qū)應(yīng)按功能分區(qū)規(guī)劃，可分為生產(chǎn)區(qū)、公用工程及輔助設(shè)施區(qū)、儲運區(qū)、行政辦公及生活服務(wù)區(qū)?？赡苌l(fā)可燃?xì)怏w的工藝裝置、罐組、裝卸區(qū)或全廠性污水處理場等設(shè)施，宜布置在人員集中場所、明火或散發(fā)火花地點的全年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè);行政辦公及生活服務(wù)區(qū)宜布置在廠區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)，且環(huán)境潔凈的地段;公用工程及輔助設(shè)施區(qū)宜布置在生產(chǎn)區(qū)與行政辦公及生活服務(wù)區(qū)之間。

　　4.2.5廠區(qū)總平面設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)要求，應(yīng)根據(jù)場地和氣象條件布置;廠區(qū)總平面布置應(yīng)滿足節(jié)能環(huán)保的要求，并應(yīng)保持生產(chǎn)系統(tǒng)流程和人流、物流的順暢。車間布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1還原車間、多晶硅后處理及檢測分析等有潔凈車間等級要求的生產(chǎn)單元應(yīng)布置在廠區(qū)有害氣體和固體塵埃釋放源的全年最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)。

　　2多晶硅后處理、硅芯制備、檢測分析及產(chǎn)品庫宜貼鄰還原廠房。

　　3氯硅烷精餾、四氯化硅冷氫化以及還原尾氣干法回收等生產(chǎn)單元在滿足生產(chǎn)、操作、安裝及檢修的條件下，應(yīng)采用框架結(jié)構(gòu)或露天布置，宜集中布置。

　　4液氯庫、氯硅烷罐區(qū)、氫氣罐區(qū)等宜靠近廠區(qū)一側(cè)布置，并應(yīng)設(shè)置安全的裝卸場地、裝卸通道和裝卸設(shè)施;構(gòu)成重大危險源的裝置與廠外周邊區(qū)域的防火間距應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016、《石油化工企業(yè)設(shè)計防火規(guī)范》GB50160的有關(guān)規(guī)定。

　　5原輔材料及產(chǎn)品應(yīng)根據(jù)性質(zhì)分類儲存，并應(yīng)布置在便于運輸?shù)牡囟巍?/span>

　　6電力、動力、熱力及供水設(shè)施宜位于負(fù)荷中心或接近服務(wù)對象，管線輸送宜短捷。總降壓變電站應(yīng)接近還原車間、熱氫化車間等用電負(fù)荷大的生產(chǎn)單元，并應(yīng)保證進(jìn)出線方便;還原車間、熱氫化車間的余熱回收或熱能轉(zhuǎn)換設(shè)施應(yīng)接近或緊靠還原車間、熱氫化車間、氯硅烷精餾裝置。

　　7相對獨立的生產(chǎn)單元的工藝輔助設(shè)施宜就近配置，應(yīng)減少非相關(guān)系統(tǒng)對其的影響。

　　8循環(huán)水站宜布置于通風(fēng)良好的場所，應(yīng)遠(yuǎn)離無組織排放的粉塵或可溶性化學(xué)物質(zhì)的地段。

　　9三廢處理站應(yīng)布置在廠區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的上風(fēng)側(cè)，并遠(yuǎn)離生活區(qū)，應(yīng)符合安全衛(wèi)生要求。

　　10各生產(chǎn)單元宜采用集中控制，控制室應(yīng)布置于爆炸危險區(qū)域外，應(yīng)滿足相關(guān)安全要求。

　　11生產(chǎn)區(qū)域內(nèi)的生活設(shè)施宜獨立布置或緊鄰布置在一側(cè)，并應(yīng)位于甲類設(shè)施全年最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)，生活設(shè)施的設(shè)計應(yīng)滿足防火防爆的要求。

　　12辦公樓、食堂等生產(chǎn)行政管理設(shè)施應(yīng)與生產(chǎn)區(qū)分開布置，并宜布置在廠區(qū)全年最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)，宜根據(jù)城市干道和廠區(qū)道路情況確定工廠主要出入口的位置。

　　4.2.6廠區(qū)道路布置除應(yīng)滿足生產(chǎn)和消防的要求外，還應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1應(yīng)滿足通道兩側(cè)建(構(gòu))筑物及露天設(shè)施對防火、安全、衛(wèi)生間距的要求;

　　2應(yīng)滿足各種管線、管廊、道路、豎向設(shè)計及綠化布置的要求;

　　3應(yīng)滿足施工、安裝及檢修的要求;

　　4應(yīng)滿足預(yù)留發(fā)展用地的要求。

　　4.2.7廠區(qū)綠化應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1應(yīng)依據(jù)當(dāng)?shù)氐臍夂驐l件、土壤等因素布置和選擇;

　　2應(yīng)與廠區(qū)總平面布置、管網(wǎng)相適應(yīng)，并應(yīng)與周圍環(huán)境、建(構(gòu))筑物相協(xié)調(diào);

　　3不應(yīng)妨礙生產(chǎn)操作、設(shè)備檢修、消防作業(yè)和物料運輸;

　　4應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)特點、污染狀況選擇有利于安全生產(chǎn)和職業(yè)衛(wèi)生的植物。

　　4.2.8廠區(qū)內(nèi)或附近必須設(shè)置四氯化硅等還原反應(yīng)副產(chǎn)物綜合利用或處理設(shè)施，四氯化硅等還原反應(yīng)副產(chǎn)物應(yīng)綜合利用，并應(yīng)做到無害化處理。

　　4.2.9地下管線與建(構(gòu))筑物、其他管線的水平距離應(yīng)根據(jù)工程地質(zhì)條件、構(gòu)架基礎(chǔ)形式、檢查井結(jié)構(gòu)、管線埋深、管道直徑和管內(nèi)介質(zhì)的性質(zhì)等因素確定，并宜符合本規(guī)范附錄A、附錄B的規(guī)定。

5工藝設(shè)計

5.1一般規(guī)定

　　5.1.1三氯氫硅氫還原法多晶硅生產(chǎn)工藝流程的設(shè)計和工藝設(shè)備的選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1應(yīng)對建設(shè)規(guī)模、產(chǎn)品方案、建廠條件、原料與燃料性能及價格、能源消耗、經(jīng)濟效益等進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟比較后確定工藝流程和主要設(shè)備;

　　2應(yīng)選擇符合國家制造標(biāo)準(zhǔn)、節(jié)能環(huán)保、先進(jìn)高效、安全可靠的工藝設(shè)備;

　　3應(yīng)采用符合循環(huán)經(jīng)濟要求的新技術(shù)、新工藝、新設(shè)備;

　　4物料平衡和能量平衡應(yīng)根據(jù)選定的工藝流程進(jìn)行計算;

　　5不同工序的系統(tǒng)設(shè)計、設(shè)備選型與配備應(yīng)根據(jù)每個工序和單體設(shè)備的運轉(zhuǎn)效率及中間產(chǎn)品的操作需求綜合平衡后確定，并應(yīng)保證生產(chǎn)系統(tǒng)的操作彈性和余量，同時應(yīng)滿足生產(chǎn)負(fù)荷變化和生產(chǎn)安全的要求;

　　6在高海拔、高寒和濕熱地區(qū)建廠，應(yīng)根據(jù)海拔高度對工藝計算、設(shè)備選型進(jìn)行修正，所選用的設(shè)備應(yīng)滿足其特殊環(huán)境要求。

　　5.1.2工藝布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1總平面布置應(yīng)滿足工藝流程的要求，宜留有發(fā)展空間;

　　2工藝車間宜根據(jù)工藝流程和設(shè)備選型確定，并應(yīng)在平面和空間上，滿足施工、安裝、操作、維護(hù)、監(jiān)測和通行的要求。

　　5.1.3工藝流程選擇、設(shè)備選型及工藝布置，應(yīng)根據(jù)多晶硅生產(chǎn)主要物料的易燃、易爆、有毒及火災(zāi)危險等危害特性確定。

　　5.1.4寒冷地區(qū)的管路系統(tǒng)應(yīng)采取防凍措施。

　　5.1.5新建、改建或擴建工廠內(nèi)各生產(chǎn)單元的蒸汽、電力及綜合能耗總額，不應(yīng)大于現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《多晶硅企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限額》GB29447中規(guī)定的限額準(zhǔn)入值。

　　5.1.6工藝生產(chǎn)裝置應(yīng)設(shè)有事故緊急排放設(shè)施，工藝廢氣應(yīng)根據(jù)介質(zhì)種類、粉塵含量和危險性單獨或全廠分類、集中回收處理。

　　5.1.7工藝設(shè)計范圍應(yīng)包括三氯氫硅合成和四氯化硅氫化、氯硅烷提純、三氯氫硅氫還原、還原尾氣干法回收、多晶硅產(chǎn)品后處理、二氯二氫硅(DCS)反歧化等生產(chǎn)車間或單元，以及相應(yīng)的工藝輔助設(shè)施。

　　5.1.8工藝生產(chǎn)系統(tǒng)內(nèi)的設(shè)備、管道的材質(zhì)以及管閥件，應(yīng)根據(jù)物料性質(zhì)和工況條件選取，并應(yīng)采取相應(yīng)的安全防護(hù)措施。

　　5.1.9工藝主要生產(chǎn)房間潔凈度的設(shè)計要求宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。

5.2三氯氫硅合成和四氯化硅氫化

　　5.2.1多晶硅工廠應(yīng)有四氯化硅(STC)氫化裝置，企業(yè)可根據(jù)生產(chǎn)規(guī)模、當(dāng)?shù)厝葰涔韫?yīng)以及投資規(guī)模等方面綜合比較后確定是否增加三氯氫硅合成裝置。

　　5.2.2三氯氫硅合成工序的原料之一的氯化氫(HCl)可采用氯化氫合成或鹽酸解析工藝制取。

　　5.2.3液氯汽化工序的液氯汽化器應(yīng)采用熱水加熱，水溫宜為40℃～70℃，不應(yīng)使用蒸汽加熱，并應(yīng)設(shè)置冬、夏季不同溫度的冷、熱水汽化液氯。液氯汽化工序的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《氯氣安全規(guī)程》GB11984的有關(guān)規(guī)定。

　　5.2.4三氯氫硅合成工序應(yīng)采用干、濕結(jié)合的除塵工藝，并應(yīng)提高單次運行時間。

　　5.2.5三氯氫硅合成工序的工藝尾氣應(yīng)采用吸附裝置回收氫氣和氯化氫。

　　5.2.6合成和冷氫化工序宜設(shè)置硅粉干燥工序，干燥用氣應(yīng)回收循環(huán)使用。

　　5.2.7四氯化硅氫化裝置應(yīng)根據(jù)多晶硅生產(chǎn)規(guī)模、所在地區(qū)能源價格、投資成本及建設(shè)周期綜合經(jīng)濟比較后確定采取高溫氫化上藝、固定床冷氫化工藝或流化床冷氫化工藝。

　　5.2.8氫化裝置宜與氫化冷凝液提純裝置臨近布置。

　　5.2.9冷氫化裝置應(yīng)配套殘液回收裝置，并應(yīng)就近配置。

　　5.2.10冷氫化裝置宜獨立設(shè)置于敞開或半敞開式的構(gòu)筑物內(nèi)，制冷系統(tǒng)可布置于建筑物內(nèi);附屬輔助系統(tǒng)宜在滿足防火間距的基礎(chǔ)上毗連布置。

　　5.2.11主要設(shè)備選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1氫氣壓縮機應(yīng)選擇密封性好、噪聲小、故障率低的機型，宜設(shè)置備用機;

　　2宜選用運行穩(wěn)定、故障率低、密封好的泵，應(yīng)設(shè)置備用機。

5.3氯硅烷提純

　　5.3.1提純流程和塔內(nèi)件應(yīng)根據(jù)物料原料組分、提純難易程度以及產(chǎn)品要求比較分析后確定。

　　5.3.2氯硅烷提純宜選用差壓耦合提純技術(shù)。

　　5.3.3氯硅烷提純工序的布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1大直徑塔宜獨立、露天布置，用法蘭連接的多節(jié)組合塔以及直徑不大于600mm的塔宜布置于框架結(jié)構(gòu)內(nèi);

　　2塔的布置宜采用單排形式，并應(yīng)按提純流程順序以塔的外壁或中心線對齊，還應(yīng)設(shè)置聯(lián)合平臺，各塔平臺的連接走道結(jié)構(gòu)應(yīng)能滿足各塔伸縮量及基礎(chǔ)沉降的不同要求;

　　3附屬設(shè)備宜靠近塔布置，并應(yīng)留有安裝、生產(chǎn)、維修空間;

　　4差壓耦合塔的差壓耦合再沸器、冷凝器和回流罐的標(biāo)高宜逐漸降低。

　　5.3.4氯硅烷提純工序宜選擇運行穩(wěn)定、故障率低、密封好的泵，應(yīng)設(shè)置備用機。

　　5.3.5精餾控制方式應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品采出位置、進(jìn)料方式、塔內(nèi)溫度和壓力變化確定?？刹捎镁s段指標(biāo)控制、提餾段指標(biāo)控制或壓力控制。

5.4三氯氫硅氫還原

　　5.4.1太陽能級多晶硅還原電耗應(yīng)符合國家有關(guān)光伏制造行業(yè)規(guī)范條件的要求。

　　5.4.2還原爐供料系統(tǒng)應(yīng)接近或緊靠還原車間布置。

　　5.4.3還原爐室應(yīng)根據(jù)爐型的大小設(shè)置吊裝行車，并宜配備專有的拆卸硅棒工具。

　　5.4.4熱能回收利用裝置應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝系統(tǒng)的特性，回收還原爐內(nèi)硅棒的輻射熱量。

　　5.4.5生產(chǎn)太陽能級多晶硅的還原爐室應(yīng)采用不低于三級過濾的潔凈新風(fēng)，生產(chǎn)半導(dǎo)體級多晶硅的還原爐室潔凈度應(yīng)大于8級。

　　5.4.6主工藝物料系統(tǒng)和還原爐夾套冷卻系統(tǒng)應(yīng)設(shè)安全閥等安全設(shè)施。

5.5還原尾氣干法回收

　　5.5.1還原尾氣干法回收設(shè)計范圍應(yīng)包括氣體壓縮、氯硅烷深冷分離、氫氣吸附，以及再生后氣處理等單元。

　　5.5.2還原尾氣除塵工序宜在前端增加過濾器或采用其他解決尾氣中無定形硅的技術(shù)。

　　5.5.3氯硅烷分離工序宜采用高壓深冷方式回收氯硅烷，并宜采用高壓低溫吸收、低壓高溫解析方式回收氯化氫。

　　5.5.4還原尾氣干法回收工序布置宜符合下列規(guī)定：

　　1宜臨近還原車間布置;

　　2還原尾氣干法回收工序的氣體壓縮系統(tǒng)、氯硅烷深冷分離、吸附提純氫系統(tǒng)宜獨立設(shè)置于敞開或半敞開式的構(gòu)筑物內(nèi)，制冷系統(tǒng)宜布置于密閉建筑物內(nèi);附屬輔助系統(tǒng)宜在滿足防火間距的基礎(chǔ)上毗連布置。

　　5.5.5還原尾氣干法回收工序的主要設(shè)備選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1各系統(tǒng)內(nèi)的設(shè)備能力應(yīng)互相匹配，并應(yīng)保證生產(chǎn)的連續(xù)性;

　　2氫氣壓縮機應(yīng)選擇密封性好、噪聲小、故障率低、低電耗的機型，宜設(shè)置備用機;

　　3宜選用運行穩(wěn)定、故障率低、密封好的泵，應(yīng)設(shè)置備用機。

5.6硅芯制備及多晶硅產(chǎn)品后處理

　　5.6.1硅芯制備工藝可采用區(qū)熔法拉制和切割法。工藝路線選擇應(yīng)根據(jù)硅芯生產(chǎn)規(guī)模、能源價格等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟分析比較后確定。

　　5.6.2采用區(qū)熔法拉制硅芯應(yīng)設(shè)置電磁屏蔽。

　　5.6.3硅芯制備的房間應(yīng)設(shè)置在潔凈車間內(nèi)。

　　5.6.4多晶硅后處理應(yīng)包括產(chǎn)品運輸、破碎、分揀、包裝、腐蝕清洗等工序，其中運輸、破碎、分揀、包裝工序應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1硅棒破碎系統(tǒng)的位置應(yīng)根據(jù)運輸硅棒路徑、中間倉庫位置及廠房工藝布置確定，并應(yīng)靠近還原車間;

　　2硅棒運輸車內(nèi)襯板宜采用耐磨、不吸塵的非金屬材料;

　　3硅棒破碎方式應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)規(guī)模、物料性能和產(chǎn)品粒度確定，可采用人工破碎或機械破碎;

　　4破碎工具與產(chǎn)品接觸部分，應(yīng)選用硬度大和強度高的材料;

　　5破碎系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置除塵裝置;

　　6破碎粒度應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《硅多晶》GB/T12963和《太陽能級多晶硅》GB/T25074有關(guān)塊狀多晶硅的尺寸范圍要求;

　　7破碎、分揀、包裝應(yīng)設(shè)置在潔凈區(qū)內(nèi)。

　　5.6.5腐蝕清洗工序應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1腐蝕清洗應(yīng)設(shè)置在潔凈區(qū)內(nèi);

　　2腐蝕清洗室內(nèi)應(yīng)設(shè)置單獨的物料進(jìn)出口，并應(yīng)與人員出入口分開;

　　3供酸室應(yīng)與腐蝕清洗室分開布置，供酸室應(yīng)布置在便于酸桶運輸?shù)牡胤?，并?yīng)采取防護(hù)措施;

　　4腐蝕清洗設(shè)備內(nèi)酸腐蝕部位應(yīng)設(shè)置強制排風(fēng)，廢氣應(yīng)處理達(dá)標(biāo)后再排放;

　　5輸送強酸的管道應(yīng)采用雙層套管，外層宜采用透明聚氯乙烯(PVC)管。

5.7分析檢測

　　5.7.1多晶硅工廠應(yīng)設(shè)置單獨的分析檢測室，并宜在四氯化硅氫化、還原尾氣干法回收、三廢處理站等裝置區(qū)內(nèi)設(shè)置在線分析裝置。

　　5.7.2分析檢測室不應(yīng)與甲、乙類房間布置在同一防火分區(qū)內(nèi)，可獨立設(shè)置于一側(cè)。

　　5.7.3分析檢測應(yīng)包括下列內(nèi)容：

　　1氯硅烷的含量、雜質(zhì)、含碳化合物分析;

　　2硅粉的含量、雜質(zhì)、粒度、碳含量分析;

　　3液氬中氧、氮含量分析;

　　4液氮中氧含量的分析，氮氣中氫含量、氧含量和露點分析;

　　5氫氣中氧含量、氮含量、氯硅烷含量、露點分析;

　　6水中氯離子(Cl-)、氟離子(F-)、化學(xué)含氧量(COD)、生化需氧量(BOD)、酸堿度(pH值)、硬度、全堿度、懸浮物、總磷、正磷分析;

　　7大氣中氯化氫、氟化物、氮氧化物分析;

　　8多晶硅質(zhì)量指標(biāo)分析，指標(biāo)分析包括多晶硅的導(dǎo)電類型、電阻率、少子壽命、氧含量、碳含量、表面金屬雜質(zhì)含量、體金屬雜質(zhì)含量的分析;

　　9合成原料氯化氫的純度分析;

　　10液氯中三氯化氮、水含量分析。

　　5.7.4分析檢測室中除化學(xué)分析外，其他分析檢測室應(yīng)設(shè)置在潔凈區(qū)。

6電氣及自動化

6.1電氣

　　6.1.1供配電系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1應(yīng)根據(jù)多晶硅工廠特點、規(guī)模和發(fā)展規(guī)劃設(shè)計;

　　2設(shè)計方案應(yīng)依據(jù)多晶硅生產(chǎn)規(guī)模、負(fù)荷性質(zhì)、用電容量及供電條件確定;

　　3應(yīng)采用高效、節(jié)能、環(huán)保、安全、性能先進(jìn)的電氣產(chǎn)品。

　　6.1.2負(fù)荷分級及供電要求應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1多晶硅工廠的雙回路供電要求應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50052的規(guī)定。

　　2負(fù)荷分級及供電要求應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50052的規(guī)定。

　　3還原裝置中還原爐電極、爐體及底盤冷卻循環(huán)水泵、冷氫化裝置的洗滌塔循環(huán)泵、整理裝置的廢氣洗滌系統(tǒng)、工藝廢氣洗滌循環(huán)泵、消防系統(tǒng)等用電負(fù)荷應(yīng)屬于一級負(fù)荷中的特別重要負(fù)荷;工藝采取其他措施時，可按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《供配電系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50052的規(guī)定確定負(fù)荷等級。

　　4宜采用下列電源之一作為多晶硅工廠的應(yīng)急電源：

　　1)供電網(wǎng)絡(luò)中獨立于正常電源的專用饋電線路宜采用10kV系統(tǒng)電源;

　　2)柴油發(fā)電機。

　　6.1.3電源電壓選擇及供電系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1供電電壓應(yīng)根據(jù)多晶硅生產(chǎn)規(guī)模、當(dāng)?shù)毓搽娋W(wǎng)現(xiàn)狀及發(fā)展規(guī)劃確定。

　　2變、配電所位置應(yīng)根據(jù)負(fù)荷的容量及總圖布置情況靠近負(fù)荷中心，且總變電所宜靠近還原車間。

　　3裝置一級的配電電壓宜采用10kV，低壓配電電壓應(yīng)采用220V/380V。總變電所歸用戶管理時，還原變壓器宜由二級10kV配電站或總變電所直供。

　　4供配電系統(tǒng)宜采取濾波等方式抑制高次諧波，并宜符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《電能質(zhì)量公用電網(wǎng)諧波》GB/T14549的規(guī)定。

　　5還原調(diào)功設(shè)備宜采用多種電壓等級、疊層控制原理。

　　6供配電系統(tǒng)應(yīng)減少無功損耗，宜采用高壓與低壓補償相結(jié)合及集中補償與就地補償相結(jié)合的無功補償方式。企業(yè)計費處最大負(fù)荷時的功率因數(shù)不應(yīng)低于0.90。

　　7低壓系統(tǒng)接地形式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。

　　8消防負(fù)荷供配電設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016和《石油化工企業(yè)設(shè)計防火規(guī)范》GB50160的規(guī)定執(zhí)行。

　　9應(yīng)急電源與正常電源之間必須采取防止并列運行的措施。

　　10還原爐整流變壓器和調(diào)功電氣設(shè)備應(yīng)為還原爐的專用成套設(shè)備，不屬于車間變、配電所的設(shè)備，可布置在還原車間的非防爆區(qū)域內(nèi)。

　　11還原爐成套調(diào)壓變壓器宜為環(huán)氧樹脂絕緣的干式變壓器。

　　6.1.4環(huán)境特性及配電設(shè)備選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1爆炸危險區(qū)域劃分應(yīng)根據(jù)工藝裝置特點確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。爆炸危險環(huán)境內(nèi)的電力設(shè)備選擇應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

　　2有潔凈要求且為防爆區(qū)域的生產(chǎn)車間內(nèi)，宜選擇不易積塵、便于擦拭的防爆配電設(shè)備。

　　6.1.5照明系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1照明設(shè)計應(yīng)按國家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《建筑照明設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》GB50034和《石油化工企業(yè)照度設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》SH/T3027的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

　　2生產(chǎn)裝置應(yīng)設(shè)照明配電箱、照明燈具和插座。

　　3工作照明燈具應(yīng)按環(huán)境條件、廠房結(jié)構(gòu)及生產(chǎn)裝置條件選型和配置，光源可選用熒光燈、金鹵燈等，并應(yīng)滿足照度要求;工業(yè)潔凈車間內(nèi)的照明光源宜采用高效熒光燈。

　　4應(yīng)急照明燈具的選擇和布置應(yīng)根據(jù)環(huán)境條件、生產(chǎn)要求及安全要求確定，并應(yīng)采用應(yīng)急電源供電或選擇帶蓄電池的應(yīng)急燈。

　　5廠區(qū)道路應(yīng)設(shè)立柱式路燈。路燈照明宜采用節(jié)電裝置供電，宜采用光電、時間自動控制及手動控制。

　　6.1.6防雷及接地系統(tǒng)可由電氣系統(tǒng)工作接地、設(shè)備接地、靜電接地、防雷保護(hù)接地組成，應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1變電所內(nèi)的配電變壓器低壓側(cè)380/220V的中性點應(yīng)直接接地，接地電阻不應(yīng)超過4Ω。

　　2電氣設(shè)備外露可導(dǎo)電部分和電纜鎧裝層均應(yīng)可靠接地，電纜橋架應(yīng)可靠接地，工藝設(shè)備應(yīng)可靠接地。

　　3對爆炸、火災(zāi)危險場所內(nèi)可能產(chǎn)生靜電危險的設(shè)備和管道應(yīng)采取靜電接地措施，每組專設(shè)的靜電接地體的接地電阻值應(yīng)小于100Ω。

　　4建(構(gòu))筑物應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB50057的規(guī)定采取防雷保護(hù)措施，防雷接地裝置的接地電阻應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑物防雷設(shè)計規(guī)范》GB50057的有關(guān)規(guī)定。

　　5變壓器中性點接地、防靜電接地、設(shè)備接地、防雷接地等共用接地裝置時，總接地電阻不應(yīng)大于4Ω;工作接地、保護(hù)接地、防雷接地與電子信息系統(tǒng)接地共用接地方式時，接地電阻不應(yīng)大于1Ω。

6.2自動化

　　6.2.1儀表和控制系統(tǒng)選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1分散型控制系統(tǒng)(DCS)及相關(guān)設(shè)備選型應(yīng)符合國家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《石油化工分散控制系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》SH/T3092、《分散型控制系統(tǒng)工程設(shè)計規(guī)范》HG/T20573及《石油化工安全儀表系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50770的有關(guān)規(guī)定;

　　2分散型控制系統(tǒng)(DCS)、安全儀表系統(tǒng)(SIS)、安全柵等設(shè)備宜由分散型控制系統(tǒng)(DCS)供貨商統(tǒng)一提供;

　　3多晶硅工廠的罐區(qū)、還原爐室等場合應(yīng)設(shè)置工業(yè)電視監(jiān)控系統(tǒng);

　　4自控儀表選型應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《石油化工自動化儀表選型設(shè)計規(guī)范》SH3005、《自動化儀表選型設(shè)計規(guī)范》HG/T20507的有關(guān)規(guī)定。

　　6.2.2溫度儀表選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1溫度刻度應(yīng)采用直讀式，溫度儀表正常使用溫度應(yīng)為量程的50%～70%，最高測量值不應(yīng)超過量程的90%。

　　2就地溫度指示儀表宜選用帶外保護(hù)套管的萬向型雙金屬溫度計。溫度宜為—80℃～500℃，刻度盤直徑宜為100mm。

　　3集中檢測溫度儀表選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1)—200℃～500℃的介質(zhì)宜選用Pt100熱電阻或一體化溫度變送器;

　　2)超出500℃的介質(zhì)宜選用K型熱電偶或電偶型一體化溫度變送器，熱電偶的允差等級應(yīng)為Ⅰ級;

　　3)溫度套管的材質(zhì)應(yīng)按介質(zhì)的特性選擇，用于測量硅粉介質(zhì)的溫度計套管宜選用耐磨材料，測溫元件的接線盒宜為不銹鋼;

　　4)還原爐內(nèi)、中、外硅芯(棒)的溫度測量儀表宜采用高溫紅外測溫儀，且宜選用雙色紅外測溫儀。

　　6.2.3壓力儀表的選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1測量穩(wěn)定壓力時，正常操作壓力應(yīng)為量程的1/3～2/3;測量脈沖壓力時，正常操作壓力應(yīng)為量程的1/3～1/2;測量壓力高于4.0MPa時，正常操作壓力應(yīng)為量程的1/3～3/5。

　　2就地壓力儀表宜選用不銹鋼型彈簧管壓力表，并宜徑向無邊，刻度盤直徑宜選用100mm;精度宜選用1.5級，精密測量和校驗用壓力表的精確度宜為0.4級、0.25級或0.16級。彈簧管壓力表受壓檢測元件宜選用不銹鋼材質(zhì)。

　　3特殊介質(zhì)的壓力測量儀表選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1)微壓測量宜采用膜盒壓力表或差壓壓力表;

　　            2)氯硅烷介質(zhì)宜采用隔膜式壓力表;

　　3)氧氣應(yīng)選用氧氣壓力表;

　　4)黏稠、易結(jié)晶、含有固體顆?；蚋g性的介質(zhì)應(yīng)選用隔膜壓力表或膜片壓力表，隔膜或膜片的材質(zhì)應(yīng)根據(jù)測量介質(zhì)的特性選擇;

　　5)安裝于振動場所或振動部位時，宜選用不銹鋼耐振壓力表;

　　6)安裝在爆破片后的壓力表宜采用帶有記憶功能的壓力表;

　　7)測量硅粉壓力應(yīng)采取防堵措施。

　　4壓力和差壓變送器的選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　            1)采用標(biāo)準(zhǔn)信號傳輸時，可選用壓力和差壓變送器，精度不應(yīng)低于±0.075%;也可選用法蘭隔膜式壓力變送器，精度不應(yīng)低于±0.2%。

　　2)微壓、負(fù)壓測量宜選用絕對壓力變送器及差壓變送器。

　　3)黏稠、易結(jié)晶、含有固體顆?；蚋g性的介質(zhì)應(yīng)選用法蘭隔膜式壓力和差壓變送器;當(dāng)采取灌隔離液、吹氣或沖洗液等措施時，宜選用一般的壓力和差壓變送器。

　　4)對于易冷凝、結(jié)晶的儀表，宜采用法蘭隔膜式壓力和差壓變送器。

　　6.2.4流量儀表的選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1流量儀表的最大流量刻度讀數(shù)不應(yīng)超過90%，正常流量的刻度讀數(shù)宜為50%～70%，最小流量的線性刻度讀數(shù)不應(yīng)小于10%，最小流量的方根刻度讀數(shù)不應(yīng)小于30%;

　　2循環(huán)冷卻水宜選用電磁流量計，但測量脫鹽水及超純水的流量時，不應(yīng)使用電磁流量計;

　　3含有雜質(zhì)或硅粉的氯硅烷宜選用靶式流量計;

　　4還原爐氫氣進(jìn)料流量控制儀表宜選擇精度不小于±0.5%且大量程比的控制儀表，并宜具有溫、壓補償和控制程序組態(tài)功能，不宜使用科氏力質(zhì)量流量計及對工藝管道過多縮徑;

　　5氯硅烷介質(zhì)的流量儀表宜選用質(zhì)量流量計、靶式流量計、可變面積流量計、容積式流量計。差壓式流量儀表宜用于其他介質(zhì)。

　　6.2.5液位儀表的選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1就地指示的液位測量宜選用磁性浮子液位計，磁性浮子液位計的選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1)測量黏度高于600mPa·s的介質(zhì)不宜使用磁性浮子液位計;

　　2)最大長度不宜大于4000mm;

　　3)當(dāng)介質(zhì)密度400kg/m3～2000kg/m3時，介質(zhì)密度差應(yīng)大于150kg/m3;

　　4)易凍、易凝介質(zhì)應(yīng)選用電伴熱;

　　5)低溫介質(zhì)應(yīng)選用防霜式儀表。

　　2遠(yuǎn)傳指示液位儀表的選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1)宜采用差壓變送器或雙法蘭差壓變送器，當(dāng)差壓變送器不能滿足最小或最大量程要求時，可選用雷達(dá)、磁致等形式的液位變送器;

　　2)含固體顆粒介質(zhì)的液位測量應(yīng)采用超聲波液位計、導(dǎo)波雷達(dá)液位計或放射性料位儀計;

　　3)罐區(qū)液位測量宜采用帶有現(xiàn)場就地指示儀表的雷達(dá)或伺服液位計，用于控制或控制室監(jiān)視的液位儀表精度不應(yīng)低于±3mm;用于計量的液位儀表精度不應(yīng)低于±1mm。

　　3液(界)位開關(guān)宜選用外浮筒液位開關(guān)或音叉液位開關(guān)。

　　6.2.6壓力、差壓、流量、液位變送器宜選用智能變送器。變送器應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1外殼材料宜為不銹鋼;接液材質(zhì)應(yīng)根據(jù)介質(zhì)選擇，但不應(yīng)低于316SS。

　　2現(xiàn)場指示表頭宜為數(shù)字液晶表頭，環(huán)境溫度低于—20℃時宜采用發(fā)光二極管(LED)表頭。

　　3安裝支架宜采用碳鋼，在腐蝕環(huán)境下可采用不銹鋼。

　　4需要配二閥組或三閥組的變送器應(yīng)成套提供。

　　6.2.7調(diào)節(jié)閥的選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1泄漏量小、閥前后壓差較小的場合宜選用單座調(diào)節(jié)閥;

　　2泄漏量要求不嚴(yán)、閥前后壓差大的場合宜選用雙座調(diào)節(jié)閥;

　　3閥前后壓差較大、介質(zhì)不含固體顆粒的場合宜選用套筒調(diào)節(jié)閥;

　　4高壓差調(diào)節(jié)閥宜采用角型調(diào)節(jié)閥;

　　5對調(diào)節(jié)精度要求不高、無氣源的場合可選用自力式調(diào)節(jié)閥;

　　6含有固體介質(zhì)的場合應(yīng)選用陶瓷滑板閥、耐磨球閥或盤閥等耐磨閥。

　　6.2.8可燃、有毒氣體檢測儀表設(shè)計及選型應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《石油化工可燃?xì)怏w和有毒氣體檢測報警設(shè)計規(guī)范》GB50493的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1對于氯硅烷的泄漏檢測宜選用氯化氫有毒氣體檢測器;

　　2可燃?xì)怏w、有毒氣體檢測報警系統(tǒng)宜獨立設(shè)置;

　　3報警信號必須發(fā)送至現(xiàn)場報警器和有人值守的控制室或現(xiàn)場操作室的指示報警設(shè)備，并必須進(jìn)行聲光報警;

　　4便攜式可燃?xì)怏w或有毒氣體檢測報警器的配備，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)裝置的場地條件、工藝介質(zhì)的易燃易爆及毒性和操作人員數(shù)量等確定。

　　6.2.9分析儀表選型應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1分析儀表應(yīng)根據(jù)工藝要求和控制技術(shù)選擇。

　　2樣品預(yù)處理系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)樣品的可燃性、與水反應(yīng)、樣品有毒的特點進(jìn)行設(shè)計。樣品預(yù)處理系統(tǒng)應(yīng)配置氮氣吹掃系統(tǒng)和干燥器。

　　3色譜的大氣平衡閥(SSO閥)應(yīng)采用哈氏C材質(zhì)。色譜樣品閥驅(qū)動氣應(yīng)采用氮氣。

　　6.2.10控制室的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1中心控制室內(nèi)應(yīng)設(shè)有操作員間、機柜間、工程師站間、維修間、不間斷電源(UPS)間、空調(diào)室及管理和生活設(shè)施，并應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《石油化工控制室設(shè)計規(guī)范》SH/T3006和《控制室設(shè)計規(guī)定》HG/T20508的有關(guān)規(guī)定;

　　2控制室室內(nèi)溫度，冬季宜保持在18℃～20℃，夏季宜保持在25℃～30℃，相對濕度宜保持在40%～70%;

　　3公用工程裝置宜設(shè)就地控制室，控制室內(nèi)宜設(shè)獨立的不間斷電源(UPS)，與主裝置相關(guān)的工藝參數(shù)可通信至中心控制室;

　　4還原工段為易燃、易爆且需要操作人員進(jìn)行現(xiàn)場監(jiān)控和操作的區(qū)域，可在還原車間現(xiàn)場設(shè)置防爆屏進(jìn)行監(jiān)控。

　　6.2.11儀表電源、接地、氣源、熱源應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1在中心控制室及就地控制室設(shè)置不間斷電源(UPS)電源時，使用時間不應(yīng)小于30min;儀表及控制系統(tǒng)供電設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《石油化工儀表供電設(shè)計規(guī)范》SH/T3082和《儀表供電設(shè)計規(guī)定》HG/T20509的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

　　2儀表接地系統(tǒng)可包括保護(hù)接地和工作接地，工作接地可包括信號回路接地、屏蔽接地、本質(zhì)安全儀表系統(tǒng)接地;采用等電位連接的原則，接地電阻應(yīng)符合有關(guān)分散型控制系統(tǒng)(DCS)廠商的要求。儀表接地設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《石油化工儀表接地設(shè)計規(guī)范》SH/T3081和《儀表系統(tǒng)接地設(shè)計規(guī)范》HG/T20513的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。3儀表氣源應(yīng)采用凈化空氣，儀表進(jìn)口空氣壓力不應(yīng)小于0.6MPa，空氣壓縮機出口空氣壓力不宜小于0.7MPa，露點溫度應(yīng)低于當(dāng)?shù)刈畹蜆O端溫度10℃。儀表供氣設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《石油化工儀表供氣設(shè)計規(guī)范》SH/T3020和《儀表供氣設(shè)計規(guī)定》HG/T20510的有關(guān)規(guī)定。4儀表伴熱應(yīng)采用電伴熱或蒸汽伴熱形式，并應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《石油化工儀表及管道伴熱和絕熱設(shè)計規(guī)范》SH/T3126和《儀表及管線伴熱和絕熱保溫設(shè)計規(guī)范》HG/T20514的有關(guān)規(guī)定。

7輔助設(shè)施

7.1壓縮空氣站

　　7.1.1壓縮空氣站設(shè)計應(yīng)滿足工藝和儀表用氣要求，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)自動化儀表氣源壓力范圍和質(zhì)量》GB4830和《壓縮空氣站設(shè)計規(guī)范》GB50029的有關(guān)規(guī)定。

　　7.1.2空氣壓縮機的吸風(fēng)口應(yīng)位于空氣潔凈處，應(yīng)在廠區(qū)有害氣體和固體塵埃釋放源的全年最小頻率風(fēng)向的下風(fēng)側(cè)。

　　7.1.3空氣壓縮機的選型和臺數(shù)應(yīng)根據(jù)各車間用氣量、自身用氣量、壓力要求，以及氣路系統(tǒng)損耗確定，并應(yīng)設(shè)置備用機組或可替代氣源。空氣壓縮機應(yīng)選用效率高、低噪聲的節(jié)能機型。

7.2制氮站

　　7.2.1制氮站可與壓縮空氣站設(shè)置在同一建筑物內(nèi)，也可靠近壓縮空氣站;制氮用的壓縮空氣與作為儀表氣源的壓縮空氣可由同個機組產(chǎn)出，也可分機組獨立產(chǎn)出。

　　7.2.2氮氣質(zhì)量應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1壓力應(yīng)大于或等于0.7MPa;

　　2氮氣純度應(yīng)大于或等于99.999%;

　　3露點應(yīng)小于或等于—65℃。

　　7.2.3制氮站供氣量應(yīng)包含工藝生產(chǎn)系統(tǒng)置換用氣、保護(hù)用氣及管網(wǎng)損耗的總用量，并應(yīng)大于生產(chǎn)事故的最大用量。

　　7.2.4制氮站的液氮儲存量應(yīng)根據(jù)制氮機組事故狀況下恢復(fù)正常產(chǎn)氣的時間確定，應(yīng)保證主生產(chǎn)系統(tǒng)的安全用量。

　　7.2.5制氮系統(tǒng)應(yīng)具有自動調(diào)節(jié)氣量功能，并應(yīng)根據(jù)用氣需求降低或提高產(chǎn)氣負(fù)荷。

7.3制氫站

　　7.3.1制氫站設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB50177的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)獨立設(shè)置。

　　7.3.2制氫工藝路線選擇應(yīng)根據(jù)所在地區(qū)原料儲備、原料價格、能源結(jié)構(gòu)、能源價格等情況，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟分析比較后確定，并應(yīng)選擇安全可靠、環(huán)保的節(jié)能設(shè)備。

　　7.3.3氫氣純度應(yīng)大于99.999%，露點應(yīng)小于—65℃。

7.4導(dǎo)熱油

　　7.4.1導(dǎo)熱油產(chǎn)品型號應(yīng)根據(jù)最高使用溫度、價格及使用壽命技術(shù)經(jīng)濟比較后確定。

　　7.4.2導(dǎo)熱油加熱系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《導(dǎo)熱油加熱爐系統(tǒng)規(guī)范》SY/T0524的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)靠近主要的負(fù)荷中心區(qū)，管線布置應(yīng)短捷。

　　7.4.3廠區(qū)管網(wǎng)宜架空敷設(shè)，管道宜利用自然彎曲補償管道熱伸長。

7.5純水制備

　　7.5.1硅芯、石墨件及硅料清洗應(yīng)采用純水。

　　7.5.2純水站位置應(yīng)滿足工藝總體布局的要求，并應(yīng)就近用水設(shè)備布置。

　　7.5.3純水水質(zhì)指標(biāo)不應(yīng)低于表7.5.3的規(guī)定。

　　表7.5.3純水水質(zhì)指標(biāo)

 

 

 

　　注：表中第11項～第34項采用電感耦合等離子體質(zhì)譜(ICP/MS)檢測。

　　7.5.4純水儲存和分配應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1純水儲存罐體和輸送管道材料應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的水質(zhì)要求，宜選擇潔凈聚氯乙烯管(Clean-PVC)、聚偏二氟乙烯管(PVDF)等管材，管道附件與閥門等應(yīng)采用與管道相同的材質(zhì)。

　　2純水輸送管道系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)方式。設(shè)計和安裝時，不應(yīng)出現(xiàn)使水滯留和不易清潔的部位。循環(huán)干管的流速宜大于1.5m/s，不循環(huán)的支管長度不應(yīng)大于管徑的6倍。

　　3純水儲罐和輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置清洗系統(tǒng)。

　　7.5.5純水制備、儲存和分配應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50685的有關(guān)規(guī)定。

7.6制冷

　　7.6.1工藝生產(chǎn)用冷要求低于—30℃時，宜采用直接蒸發(fā)式制冷系統(tǒng)。

　　7.6.2工藝生產(chǎn)等系統(tǒng)所需的冷凍站宜集中設(shè)置，并應(yīng)臨近負(fù)荷中心布置。

　　7.6.3冷凍系統(tǒng)設(shè)計宜采用閉式循環(huán)系統(tǒng)。

　　7.6.4采用乙二醇作為載冷劑時，乙二醇水溶液儲罐容積應(yīng)滿足系統(tǒng)停車時系統(tǒng)內(nèi)部乙二醇水溶液的儲存要求，受場地限制時，應(yīng)設(shè)置臨時儲罐。

7.7蒸汽

　　7.7.1蒸汽源選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1蒸汽源選擇應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)規(guī)模、熱負(fù)荷及所在地區(qū)的能源結(jié)構(gòu)、政策等因素綜合論證確定;

　　2應(yīng)利用工廠周邊已有的熱電廠或區(qū)域供熱站等蒸汽系統(tǒng)，當(dāng)外部汽源不能滿足所需熱負(fù)荷時，應(yīng)自建鍋爐房供汽。

　　7.7.2鍋爐房設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐房設(shè)計規(guī)范》GB50041的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1宜采用燃?xì)?、燃油鍋爐;環(huán)境許可時，可采用燃煤鍋爐;鍋爐選用應(yīng)符合環(huán)保要求。

　　2宜選用飽和蒸汽鍋爐。

　　3鍋爐容量和數(shù)量應(yīng)適應(yīng)熱負(fù)荷變化，數(shù)量不應(yīng)少于2臺，且不宜超過5臺，可設(shè)置備用鍋爐。

　　4鍋爐宜選用相同型號。

　　5鍋爐房應(yīng)留有擴建場地。

　　7.7.3蒸汽壓力的確定應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1應(yīng)在滿足用戶需要的前提下選擇供汽壓力;

　　2應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝和空氣調(diào)節(jié)用汽情況選擇蒸汽管網(wǎng)輸送壓力，全廠蒸汽管網(wǎng)壓力等級不宜多于3個等級;

　　3蒸汽減溫減壓系統(tǒng)宜集中設(shè)置，應(yīng)滿足工藝裝置開車時的用汽負(fù)荷要求;

　　4減壓閥后應(yīng)設(shè)置安全閥。

　　7.7.4蒸汽系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1用汽設(shè)備進(jìn)口或蒸汽系統(tǒng)總管宜設(shè)置蒸汽計量裝置;

　　2全廠蒸汽冷凝水宜回收利用。

8建筑結(jié)構(gòu)

8.1一般規(guī)定

　　8.1.1建(構(gòu))筑物的火災(zāi)危險性分類、耐火等級不應(yīng)低于表8.1.1的規(guī)定。

　　表8.1.1建(構(gòu))筑物的火災(zāi)危險性分類、耐火等級

 

 

　　8.1.2多晶硅工廠建(構(gòu))筑物之間的最小間距應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定，露天工藝裝置與建(構(gòu))筑物之間的最小間距應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《石油化工企業(yè)設(shè)計防火規(guī)范》GB50160的有關(guān)規(guī)定。

　　8.1.3有爆炸危險的甲、乙類火險設(shè)備宜露天或半露天布置，但有工藝潔凈要求或有防凍、防風(fēng)沙限制的設(shè)備可設(shè)在廠房建筑內(nèi)，爆炸危險區(qū)范圍的劃分應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。有爆炸危險的甲、乙類廠房泄壓面積的設(shè)置應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行，并應(yīng)對人員安全疏散采取防護(hù)措施。

　　8.1.4廠房、倉庫的防火分區(qū)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1廠房、倉庫的防火分區(qū)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定。

　　2甲、乙、丙類多層廠房內(nèi)各層由不同功能房間組成時，宜按層劃分防火分區(qū)，疏散樓梯應(yīng)采用封閉樓梯間或室外樓梯。封閉樓梯間的設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定執(zhí)行，封閉樓梯間的門應(yīng)為乙級防火門，門應(yīng)向疏散方向開啟，雙扇門應(yīng)具備順序啟閉功能;室外樓梯的設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

　　8.1.5廠房和露天裝置中操作人員和建筑的安全衛(wèi)生設(shè)計應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，工藝裝置還應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《石油化工企業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)范》SH3047的有關(guān)規(guī)定。

　　8.1.6廠房、輔助用房、公用工程等建筑內(nèi)裝修設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

8.2主要生產(chǎn)廠房和輔助用房

　　8.2.1還原廠房及輔助設(shè)施的布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1還原廠房及輔助設(shè)施宜采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)或鋼結(jié)構(gòu)，耐火等級不應(yīng)低于二級。

　　2還原爐室為甲類火險且有防爆要求時，廠房內(nèi)不應(yīng)設(shè)置辦公室、休息室。其他輔助房及衛(wèi)生間等需要布置時，必須布置在還原爐室端墻貼鄰一側(cè)。并應(yīng)采用耐火極限不低于3.0h的不燃體防爆防護(hù)墻與還原爐室分隔。當(dāng)防爆防護(hù)墻兼作防火墻時，耐火極限應(yīng)為4.0h。

　　3變壓器室、調(diào)功器室、高壓啟動室、爐體清洗檢修間、爐體冷卻水系統(tǒng)等輔助房間，應(yīng)與還原爐室布置在不同的隔間或防火分區(qū)內(nèi)，并必須用防火墻、防爆防護(hù)墻、防火樓板分隔，平面布置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定;還原爐室墻外側(cè)有匯流排等易燃易爆設(shè)施時，應(yīng)設(shè)置具有防爆防護(hù)功能的半高隔墻。

　　4人員進(jìn)入還原廠房宜經(jīng)過凈化室。人員凈化室布置在廠房山墻一側(cè)時，應(yīng)用防爆防護(hù)墻與還原爐室分隔。

　　5還原廠房應(yīng)采用封閉樓梯間，直通還原爐室的封閉樓梯間應(yīng)設(shè)置具有防爆防護(hù)功能的前室。

　　6還原廠房的樓梯間布置及疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。疏散梯設(shè)為室外樓梯時，應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

　　7還原爐室應(yīng)按檢修需要布置設(shè)備檢修平臺和鋼梯，鋼梯凈寬不應(yīng)小于700mm，坡度不宜大于45°。

　　8還原廠房的管道夾層應(yīng)采用敞開或半敞開式布置，頂棚應(yīng)采取防止氣體積聚的措施，設(shè)置吊頂時，吊頂應(yīng)平整、密封、不留死角，多雨地區(qū)應(yīng)采取擋雨措施。

　　8.2.2整理廠房布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1整理廠房宜采用鋼筋混凝土結(jié)構(gòu)或鋼框架結(jié)構(gòu)，耐火等級不應(yīng)低于二級，防火分區(qū)、安全疏散口布置及疏散距離均應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

　　2應(yīng)合理布置潔凈區(qū)、普通生產(chǎn)區(qū)及輔助房間，在潔凈區(qū)內(nèi)人流路線應(yīng)避免往復(fù)交叉。廠房內(nèi)貨運電梯前應(yīng)布置緩沖間，寬度應(yīng)與電梯井道相同，進(jìn)深不應(yīng)小于3m。

　　8.2.3還原廠房與整理廠房連廊布置應(yīng)遵循合理、方便、安全的原則，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的規(guī)定。連廊的空氣潔凈度要求應(yīng)符合本規(guī)范第8.4.1條第1款的規(guī)定。

　　8.2.4廠房內(nèi)潔凈區(qū)的人員凈化室和物料凈化室設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定，更衣室、衛(wèi)生間設(shè)置應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。

　　8.2.5輔助用房設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1變電所設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016和《火力發(fā)電廠與變電站設(shè)計防火規(guī)范》GB50229的有關(guān)規(guī)定。

　　2全廠性的中央控制室宜獨立設(shè)置，與其他建(構(gòu))筑物的防火間距應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

　　3中央控制室同其他建筑合建時應(yīng)劃分成獨立的防火分區(qū)。當(dāng)合建的建筑位于爆炸危險區(qū)內(nèi)時，應(yīng)采取防爆防護(hù)措施，建筑的安全出口不應(yīng)直接面對有爆炸危險的裝置。

　　4壓縮空氣站、制氮站設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《壓縮機廠房建筑設(shè)計規(guī)定》HG/T20673的有關(guān)規(guī)定。

　　5制氫站、循環(huán)水站、工藝廢料廢液處理、污水處理站、脫鹽水站、鍋爐房、綜合倉庫、綜合維修廠房、硅粉庫、化學(xué)品庫、泡沫站等輔助用房的防火設(shè)計，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

　　8.2.6裝置框架、構(gòu)筑物設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1氫化廠房、精餾裝置、還原尾氣干法回收裝置等甲類火險等級的裝置框架，宜采用鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu);在受施工等條件限制時，可采用鋼結(jié)構(gòu)框架，耐火等級不應(yīng)低于二級，鋼結(jié)構(gòu)應(yīng)采取耐火保護(hù)和防腐蝕處理。

　　2露天裝置的鋼結(jié)構(gòu)框架耐火保護(hù)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《石油化工企業(yè)設(shè)計防火規(guī)范》GB50160的有關(guān)規(guī)定。

　　3甲類原料罐區(qū)防火堤設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《儲罐區(qū)防火堤設(shè)計規(guī)范》GB50351的有關(guān)規(guī)定。儲存有毒性液體罐區(qū)應(yīng)按現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《石油化工企業(yè)職業(yè)安全衛(wèi)生設(shè)計規(guī)范》SH3047的要求對堤內(nèi)地坪、排水溝、集水坑等采取防漏措施。

8.3防火、防爆

　　8.3.1還原、整理廠房的防火、防爆設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1廠房防火分區(qū)及疏散口布置及疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

　　2還原爐室應(yīng)采用泄爆墻及帶有通風(fēng)設(shè)施的泄壓屋面，在外墻設(shè)置泄壓面時應(yīng)對室外貼鄰的匯流排等易燃易爆設(shè)施設(shè)置保護(hù)性的防爆防護(hù)半高隔墻。外墻與屋面泄壓面積應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1)泄壓面積的計算應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

　　2)泄壓設(shè)施應(yīng)采用易于脫落的輕質(zhì)屋蓋、易于泄壓的門和窗及輕質(zhì)墻體作為泄壓面積。作為泄壓面積的輕質(zhì)墻體及輕質(zhì)屋面板自重不得超過60kg/m2，材料的燃燒性能應(yīng)為A級。

　　3還原爐室防爆防護(hù)墻上開的門應(yīng)為防爆門，防爆門的耐火極限不應(yīng)低于0.90h，當(dāng)防爆墻兼作防火墻時，防爆門的耐火極限不應(yīng)低于1.20h，通向疏散通道和疏散樓梯的防爆門開啟方向應(yīng)朝向疏散方向。

　　4廠房潔凈區(qū)的防火設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。

　　5還原爐室外墻和屋面泄壓面積的設(shè)置宜靠近爆炸危險源。

　　8.3.2制氫站防火、防爆設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1制氫站防火分區(qū)及疏散口布置及疏散距離應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定;

　　2制氫裝置房間與其他輔助房間應(yīng)用防爆防護(hù)墻分隔，制氫裝置房間的屋面或墻面應(yīng)設(shè)置泄壓面積;

　　3泄壓面積計算和設(shè)置要求應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定;

　　4建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《氫氣站設(shè)計規(guī)范》GB50177的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。

　　8.3.3裝置變電所防火分區(qū)、疏散口布置及疏散距離等應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016和《火力發(fā)電廠與變電站設(shè)計防火規(guī)范》GB50229的有關(guān)規(guī)定。

　　8.3.4氫化、精餾等露天裝置及構(gòu)筑物的防火、防爆設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1露天裝置框架設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《石油化工企業(yè)設(shè)計防火規(guī)范》GB50160的有關(guān)規(guī)定;

　　2當(dāng)裝置框架為鋼結(jié)構(gòu)時，鋼結(jié)構(gòu)的耐火保護(hù)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《石油化工企業(yè)設(shè)計防火規(guī)范》GB50160的有關(guān)規(guī)定。

　　8.3.5罐區(qū)的防火、防爆設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1甲、乙類可燃液體地上儲罐的罐區(qū)設(shè)置，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《石油化工企業(yè)設(shè)計防火規(guī)范》GB50160的有關(guān)規(guī)定;

　　2防火堤的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《儲罐區(qū)防火堤設(shè)計規(guī)范》GB50351的有關(guān)規(guī)定。

　　8.3.6輔助用房及公用工程的建筑防火設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

8.4潔凈設(shè)計及裝修

　　8.4.1還原、整理廠房潔凈設(shè)計及裝修應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1半導(dǎo)體級多晶硅還原廠房的還原爐室應(yīng)按潔凈廠房進(jìn)行設(shè)計，空氣潔凈度等級不應(yīng)低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。當(dāng)設(shè)有通往整理廠房的連廊時，連廊的空氣潔凈度等級和處理方法應(yīng)與還原爐室的要求一致，宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。

　　2還原爐室地面宜采用耐磨的潔凈地面，當(dāng)采用水磨石地面時，應(yīng)采取防靜電措施。墻面宜采用外貼潔凈板或防靜電樹脂涂料。

　　3整理廠房空氣潔凈度等級及潔凈區(qū)劃分應(yīng)按工藝要求設(shè)置，空氣潔凈度不應(yīng)低于8級。平面布置、人員凈化、物流凈化、室內(nèi)裝修，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。

　　4整理廠房的潔凈房間地面宜采用環(huán)氧自流平地面、聚氯乙烯(PVC)膜材料或水磨石地面，地面應(yīng)采取防靜電措施。

　　8.4.2其他建(構(gòu))筑物的地面及裝修應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1廠房地面與室外自然地坪高差宜大于或等于300mm。

　　2有潔凈要求的房間地面應(yīng)滿足工藝生產(chǎn)要求，地面應(yīng)平整、耐磨、易清洗、不易積聚靜電、避免眩光、不開裂，踢腳不應(yīng)突出墻面。地面墊層宜配筋，潮濕地區(qū)應(yīng)有防潮措施。

　　3潔凈房間的門窗、墻面、頂棚裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。

　　4普通區(qū)輔助房間地面應(yīng)根據(jù)使用性質(zhì)和要求選用，室內(nèi)裝修應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。

8.5防腐蝕

　　8.5.1多晶硅工廠腐蝕性介質(zhì)類別的劃分應(yīng)符合表8.5.1的規(guī)定。

　　表8.5.1多晶硅工廠腐蝕性介質(zhì)類別劃分

 

　　注：1介質(zhì)本身無腐蝕性，但遇水后生成鹽酸，為強腐蝕性;

　　2表中腐蝕介質(zhì)的類別應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑防腐蝕設(shè)計規(guī)范》GB50046的有關(guān)規(guī)定分類。

　　8.5.2建(構(gòu))筑物防腐蝕處理應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1地面防腐蝕應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑防腐蝕設(shè)計規(guī)范》GB50046的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1)有液態(tài)介質(zhì)腐蝕的地面應(yīng)以塊材面層或整體面層防腐蝕為主，不經(jīng)常接觸液態(tài)介質(zhì)腐蝕的露天裝置樓面的整體面層可選擇耐候性好的防腐蝕耐磨涂料，厚度不應(yīng)小于0.5mm～1mm，室外環(huán)境下不得使用環(huán)氧涂料;

　　2)露天裝置鋼結(jié)構(gòu)框架樓面選用鋼格板時，鋼格板應(yīng)采用耐腐蝕的材料制作或進(jìn)行防腐蝕處理，也可對鋼格板樓面采取局部承接盤引流等防泄漏措施;

　　3)有液態(tài)介質(zhì)腐蝕的底層地面排水坡度不宜小于2%，樓層不宜小于1%;

　　4)有液態(tài)介質(zhì)腐蝕的地面排水溝宜采用明溝，溝寬超過300mm時應(yīng)設(shè)置耐腐蝕的箅子板或溝蓋板，地溝底面的縱向坡度宜為0.5%～1%。

　　2在氣態(tài)介質(zhì)和固態(tài)粉塵介質(zhì)作用下，墻面、頂棚、梁、板、柱等建筑構(gòu)件的表面防護(hù)宜以防腐涂料為主，防腐涂料的使用情況應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑防腐蝕設(shè)計規(guī)范》GB50046的有關(guān)規(guī)定。

　　3有液態(tài)介質(zhì)腐蝕的鋼筋混凝土池、槽、坑的防腐蝕應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑防腐蝕設(shè)計規(guī)范》GB50046的有關(guān)規(guī)定。

8.6結(jié)構(gòu)設(shè)計

　　8.6.1結(jié)構(gòu)設(shè)計應(yīng)根據(jù)工藝布置要求、生產(chǎn)特性以及工程地質(zhì)條件等因素，選擇技術(shù)先進(jìn)、經(jīng)濟合理、安全適用的結(jié)構(gòu)設(shè)計方案。

　　8.6.2多晶硅工廠建(構(gòu))筑物的設(shè)計基準(zhǔn)期應(yīng)為50年。

　　8.6.3多晶硅工廠建(構(gòu))筑物抗震設(shè)防劃分，應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)規(guī)模、產(chǎn)品性狀、生產(chǎn)特點、社會影響、停產(chǎn)損失和修復(fù)難度等因素確定，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑工程抗震設(shè)防分類標(biāo)準(zhǔn)》GB50223的有關(guān)要求。主要生產(chǎn)裝置建(構(gòu))筑物抗震設(shè)防類別應(yīng)符合表8.6.3的規(guī)定。

　　表8.6.3主要生產(chǎn)裝置建(構(gòu))筑物抗震設(shè)防類別

 

　　注：乙類建(構(gòu))筑物應(yīng)按高于當(dāng)?shù)乜拐鹪O(shè)防烈度一度采取抗震措施。

　　8.6.4多晶硅廠房設(shè)計應(yīng)說明結(jié)構(gòu)用途，在設(shè)計使用年限內(nèi)未經(jīng)技術(shù)鑒定或設(shè)計許可，不得改變結(jié)構(gòu)用途和使用環(huán)境。

　　8.6.5設(shè)計荷載應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1建(構(gòu))筑物樓面均布活荷載標(biāo)準(zhǔn)值及其組合值、頻遇值、準(zhǔn)永久值系數(shù)應(yīng)按生產(chǎn)實際情況確定，缺乏資料時，可按表8.6.5執(zhí)行。

　　表8.6.5建(構(gòu))筑物樓面均布活荷載

 

　　注：1表中帶括號的標(biāo)準(zhǔn)值用于設(shè)備安裝、檢修分部件較大時;

　　2屋面用作樓面時，按樓面設(shè)計;

　　3屋面活荷載不與雪荷載同時計算;

　　4高低跨時，受施工影響，低跨屋面荷載可增加;

　　5屋面荷載尚應(yīng)計算管道等懸掛設(shè)施的作用;

　　6表中所列荷載不包括隔墻自重;

　　7計算地震作用時，組合值系數(shù)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑抗震設(shè)計規(guī)范》GB50011的規(guī)定執(zhí)行。

　　2建(構(gòu))筑物的設(shè)備荷載標(biāo)準(zhǔn)值應(yīng)根據(jù)設(shè)備條件確定。計算時可分解為永久荷載和可變荷載。

　　3當(dāng)還原廠房根據(jù)工藝專業(yè)要求設(shè)置多臺吊車時，計算豎向和水平荷載參與組合的吊車臺數(shù)不宜多于2臺，其荷載標(biāo)準(zhǔn)值應(yīng)根據(jù)吊車工作級別乘以0.9～0.95的折減系數(shù)。

　　4動力設(shè)備的基礎(chǔ)設(shè)計應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《動力機器基礎(chǔ)設(shè)計規(guī)范》GB50040的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行，各類動力設(shè)備的動力荷載及其分布位置應(yīng)由設(shè)備制造廠商提供。

　　5搬運、裝卸設(shè)備時的動力系數(shù)可取1.1～1.2。

　　8.6.6材料選擇應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1材料選用應(yīng)因地制宜，其性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑防腐蝕設(shè)計規(guī)范》GB50046有關(guān)結(jié)構(gòu)構(gòu)件所處環(huán)境的要求;

　　控制室、辦公室等人員集中場所的建材及外加劑選用應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《民用建筑工程室內(nèi)環(huán)境污染控制規(guī)范》GB50325的有關(guān)要求。

　　8.6.7建(構(gòu))筑物基礎(chǔ)宜采用天然地基。遇有下列情況之一時，應(yīng)采用人工地基：

　　1天然地基的承載力或變形不能滿足建(構(gòu))筑物的使用要求。

　　2地基有良好的下臥層，經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較，采用人工地基比天然地基更為經(jīng)濟合理。

　　3地震區(qū)地基存在不能滿足抗液化要求的土層;當(dāng)采用人工地基時，宜對界區(qū)內(nèi)進(jìn)行整片處理。

　　4位于濕陷性黃土、膨脹土、凍脹土、鹽漬土地區(qū)的建(構(gòu))筑物，應(yīng)分別符合國家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn)《濕陷性黃土地區(qū)建筑規(guī)范》GB50025、《膨脹土地區(qū)建筑技術(shù)規(guī)范》GB50112、《凍土地區(qū)建筑地基基礎(chǔ)設(shè)計規(guī)范》JGJ118及《鹽漬土地區(qū)建筑規(guī)范》SY/T0317的有關(guān)規(guī)定。

　　8.6.8基礎(chǔ)埋深應(yīng)滿足工藝、暖通、給排水等專業(yè)地下管道的要求;位于腐蝕區(qū)域時，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑防腐蝕設(shè)計規(guī)范》GB50046的有關(guān)要求。

　　8.6.9多層廠房宜采用現(xiàn)澆鋼筋混凝土框架結(jié)構(gòu)或鋼框架結(jié)構(gòu)，單層廠房可采用門式剛架輕型鋼結(jié)構(gòu)或鋼筋混凝土排架結(jié)構(gòu)，大跨度屋蓋宜采用輕型鋼結(jié)構(gòu)，設(shè)備基礎(chǔ)可采用塊式、墻式、箱形或框架式等結(jié)構(gòu)形式。

　　8.6.10結(jié)構(gòu)布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1廠房的柱網(wǎng)應(yīng)整齊，并應(yīng)符合建筑模數(shù);次梁布置應(yīng)規(guī)則，并應(yīng)受力明確;

　　2廠房內(nèi)的大型設(shè)備基礎(chǔ)、獨立構(gòu)筑物、整體地坑等，宜與廠房柱基礎(chǔ)分開設(shè)置;

　　3與廠房毗鄰的建筑物，宜用伸縮縫與廠房分開設(shè)置;

　　4在高壓縮性軟土地基上的廠房，建筑物室內(nèi)地面或附近有大面積堆料時，應(yīng)計算堆料對建筑物基礎(chǔ)的影響，并應(yīng)對差異沉降采取措施;

　　5建(構(gòu))筑物沉降觀測點設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《建筑變形測量規(guī)范》JGJ8的有關(guān)規(guī)定，并應(yīng)按現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《建筑變形測量規(guī)范》JGJ8的有關(guān)規(guī)定進(jìn)行變形觀測。

　　8.6.11結(jié)構(gòu)計算應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1結(jié)構(gòu)計算時應(yīng)進(jìn)行整體作用效應(yīng)分析，對結(jié)構(gòu)中受力狀況特殊部位尚應(yīng)進(jìn)行更詳細(xì)的分析;

　　2采用等效均布活荷載計算的生產(chǎn)廠房，宜采用普通結(jié)構(gòu)力學(xué)方法計算板、梁、柱的內(nèi)力。

　　8.6.12構(gòu)造要求應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1混凝土結(jié)構(gòu)梁、板、柱鋼筋保護(hù)層厚度應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《混凝土結(jié)構(gòu)設(shè)計規(guī)范》GB50010的相應(yīng)環(huán)境類別取值。對腐蝕環(huán)境，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)建筑防腐蝕設(shè)計規(guī)范》GB50046的規(guī)定。構(gòu)件的混凝土保護(hù)層厚度應(yīng)滿足廠房相應(yīng)防火等級的耐火極限要求。

　　2設(shè)備基礎(chǔ)周邊宜配置抗裂鋼筋?；A(chǔ)頂面宜預(yù)留30mm～50mm厚度的找平層，宜采用水泥基灌漿材料二次澆灌。

　　3設(shè)備基礎(chǔ)的地腳螺栓不應(yīng)采用冷加工鋼材。

　　4支撐工藝及供熱外管的管架、管廊應(yīng)根據(jù)電氣專業(yè)劃分的爆炸危險區(qū)范圍確定防火區(qū)域，并應(yīng)采取防火措施。

9給水、排水和消防

9.1給水

　　9.1.1給水工程設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《室外給水設(shè)計規(guī)范》GB50013和《建筑給水排水設(shè)計規(guī)范》GB50015的規(guī)定。

　　9.1.2生產(chǎn)用水水量及水質(zhì)應(yīng)根據(jù)工藝要求確定;生活飲用水應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《生活飲用水衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)》GB5749的水質(zhì)要求，用水標(biāo)準(zhǔn)及定額應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑給水排水設(shè)計規(guī)范》GB50015的有關(guān)規(guī)定。

　　9.1.3可能發(fā)生物料泄漏的裝置區(qū)及儲罐區(qū)必須設(shè)置緊急淋浴器和洗眼器。

　　9.1.4水源選擇時，建設(shè)單位應(yīng)對水資源進(jìn)行勘察，并應(yīng)提供可開采水量及水質(zhì)的全分析資料;水源為地表水時，應(yīng)按水體保證率為95%的可取水量對河道的影響進(jìn)行論證。

　　9.1.5當(dāng)采用地下水為水源時，采用管井取水應(yīng)設(shè)置備用水源井，備用井的數(shù)量宜為取水井?dāng)?shù)量的20%，但不得少于1口井。

　　9.1.6水資源應(yīng)實現(xiàn)綜合回收利用，全廠水重復(fù)利用率應(yīng)大于或等于95%。

　　9.1.7當(dāng)給水管道穿越廠房潔凈區(qū)時，應(yīng)滿足現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。

9.2排水

　　9.2.1排水工程設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《室外排水設(shè)計規(guī)范》GB50014和《建筑給水排水設(shè)計規(guī)范》GB50015的有關(guān)規(guī)定。

　　9.2.2室外排水系統(tǒng)應(yīng)采用雨污分流制，前期雨水應(yīng)收集處理;在缺水地區(qū)，宜設(shè)置雨水利用系統(tǒng)。

　　9.2.3雨水管、渠設(shè)計重現(xiàn)期應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《室外排水設(shè)計規(guī)范》GB50014的有關(guān)規(guī)定。

　　9.2.4生產(chǎn)廢水的排水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)廢水的性質(zhì)、水質(zhì)、水量以及廢水處理工藝確定，宜采用自流方式排水。

　　9.2.5廠區(qū)應(yīng)設(shè)事故收集池，其容積應(yīng)包括裝置區(qū)露天部分雨水、事故泄漏量及事故時消防用水量。

　　9.2.6高濃度含氟廢液輸送管宜明裝敷設(shè)。架空敷設(shè)時，在管件或接口處宜采取防腐措施;管溝內(nèi)敷設(shè)時，排水管支架應(yīng)采取防腐處理，并應(yīng)設(shè)事故排水貯存功能的措施。

　　9.2.7當(dāng)排水管道穿越廠房潔凈區(qū)時，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定。

9.3廢水處理

　　9.3.1廢水處理應(yīng)遵循節(jié)水優(yōu)先、分質(zhì)處理、優(yōu)先回用的原則。

　　9.3.2廢水處理設(shè)施的位置應(yīng)滿足工藝總體布局要求。

　　9.3.3廢水處理設(shè)施應(yīng)根據(jù)工藝生產(chǎn)排出的廢水種類、濃度及水量確定，處理后的出水水質(zhì)應(yīng)符合國家和地方的有關(guān)排放要求。

　　9.3.4高濃度含氟廢液必須采取預(yù)處理措施。

　　9.3.5距廢水處理設(shè)施構(gòu)筑物的10m～50m的區(qū)域宜設(shè)置地下水監(jiān)測點。

9.4循環(huán)冷卻水系統(tǒng)

　　9.4.1多晶硅工廠設(shè)備冷卻水系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)循環(huán)水冷卻設(shè)計規(guī)范》GB/T50102和《工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設(shè)計規(guī)范》GB50050的有關(guān)規(guī)定。

　　9.4.2循環(huán)水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)水溫、水壓、水質(zhì)及設(shè)備運行要求設(shè)置，分設(shè)不同循環(huán)水系統(tǒng)。

　　9.4.3硅芯拉制爐、單晶爐和還原爐電極的循環(huán)水系統(tǒng)必須采取相應(yīng)的保安措施。

　　9.4.4循環(huán)水系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)水質(zhì)情況，合理設(shè)置水質(zhì)穩(wěn)定處理裝置，穩(wěn)定循環(huán)水水質(zhì)，減少系統(tǒng)排污量。

9.5消防

　　9.5.1多晶硅工廠應(yīng)設(shè)置消防設(shè)施，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016、《石油化工企業(yè)設(shè)計防火規(guī)范》GB50160和《建筑滅火器配置設(shè)計規(guī)范》GB50140的有關(guān)規(guī)定。

　　9.5.2多晶硅工廠裝置區(qū)、儲罐區(qū)必須設(shè)置獨立的穩(wěn)高壓消防給水系統(tǒng)，其壓力應(yīng)為0.5MPa～1.2MPa。其他場所應(yīng)設(shè)置低壓消防給水系統(tǒng)。

　　9.5.3裝置區(qū)、儲罐區(qū)應(yīng)設(shè)置固定式消防水炮，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《固定消防炮滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50338的有關(guān)規(guī)定。

　　9.5.4儲罐區(qū)應(yīng)配置滅火毯及滅火砂，滅火毯的數(shù)量不應(yīng)少于2塊，滅火砂的數(shù)量不應(yīng)少于2m3。

　　9.5.5全廠分散型控制系統(tǒng)(DCS)機柜室應(yīng)設(shè)置氣體滅火系統(tǒng)，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《氣體滅火系統(tǒng)設(shè)計規(guī)范》GB50370的有關(guān)規(guī)定。

　　9.5.6廠房的潔凈區(qū)內(nèi)不宜采用干粉滅火器。

10采暖、通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)

10.1一般規(guī)定

　　10.1.1采暖、通風(fēng)、空調(diào)與空氣凈化系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝對生產(chǎn)環(huán)境的要求，主要建筑物空氣潔凈度、溫度、濕度的設(shè)計要求宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定。

　　10.1.28級以上潔凈室(區(qū))不應(yīng)采用散熱器采暖，其他廠房或房間的采暖系統(tǒng)設(shè)置應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計規(guī)范》GB50019的有關(guān)規(guī)定。

　　10.1.3嚴(yán)寒地區(qū)還原車間的管道夾層采用熱風(fēng)采暖時，不應(yīng)回風(fēng)。

10.2通風(fēng)

　　10.2.1通風(fēng)系統(tǒng)設(shè)置應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝、勞動衛(wèi)生、人員安全以及環(huán)境保護(hù)等方面的要求。

　　10.2.2有負(fù)壓要求的房間采用機械方式送風(fēng)時，各房間的送風(fēng)量與崗位送風(fēng)量之和應(yīng)小于排風(fēng)量，房間應(yīng)保證微負(fù)壓。

　　10.2.3還原爐室與非防爆區(qū)相鄰應(yīng)保持微負(fù)壓，其局部排風(fēng)與整體排風(fēng)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1還原爐室應(yīng)設(shè)局部排風(fēng)、整體排風(fēng)與事故排風(fēng)系統(tǒng)，總排風(fēng)量不得小于6次/h的換氣次數(shù);

　　2排風(fēng)機應(yīng)設(shè)置在單獨的機房內(nèi)，并應(yīng)按防爆要求采用防爆風(fēng)機，電源應(yīng)接入應(yīng)急電源，應(yīng)與氫氣濃度檢測探頭連鎖;

　　3事故排風(fēng)機宜設(shè)置備用風(fēng)機;

　　4事故吸風(fēng)口上緣至頂板的距離不應(yīng)大于0.1m;

　　5風(fēng)管應(yīng)采取防靜電接地措施。

　　10.2.4還原車間的管道夾層四周不宜設(shè)外墻，管道夾層上部結(jié)構(gòu)梁內(nèi)應(yīng)設(shè)防止氫氣聚集的導(dǎo)流管，導(dǎo)流管上邊緣至樓板的距離不應(yīng)大于0.1m;當(dāng)管道夾層四周設(shè)有外墻時，應(yīng)設(shè)置整體通風(fēng)與事故排風(fēng)系統(tǒng)，并應(yīng)符合本規(guī)范第10.2.3條的有關(guān)規(guī)定。

　　10.2.5生產(chǎn)工藝排出的酸性廢氣應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1腐蝕清洗設(shè)備、配酸柜等設(shè)備排出的酸性廢氣應(yīng)采用局部排風(fēng)，所含酸性廢氣應(yīng)采用酸霧凈化塔進(jìn)行處理;

　　2實驗室通風(fēng)柜排出酸性廢氣宜采用活性炭吸附裝置進(jìn)行處理。

　　10.2.6噴砂、硅棒破碎等生產(chǎn)工藝產(chǎn)生的粉塵應(yīng)設(shè)置袋式過濾器除塵系統(tǒng)。

　　10.2.7硅芯爐泵房、石墨煅燒爐泵房等應(yīng)設(shè)置整體排風(fēng)系統(tǒng)，通風(fēng)換氣次數(shù)應(yīng)大于或等于6次/h。

　　10.2.8排除酸性廢氣及粉塵的系統(tǒng)設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1酸性廢氣、粉塵等的凈化處理裝置宜設(shè)置在負(fù)壓段;

　　2酸性廢氣凈化系統(tǒng)宜設(shè)置備用風(fēng)機，電源應(yīng)接入應(yīng)急電源;

　　3風(fēng)機宜設(shè)置變頻裝置;

　　4酸性廢氣及粉塵應(yīng)處理達(dá)標(biāo)后排入大氣，排氣筒高度應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297的有關(guān)規(guī)定;

　　52臺及以上廢氣處理設(shè)備并聯(lián)運行時，宜在每臺設(shè)備的入口設(shè)置電動或氣動密閉風(fēng)閥。

　　10.2.9排風(fēng)系統(tǒng)風(fēng)管材料應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1排除有爆炸性氣體或余熱宜采用鍍鋅鋼板風(fēng)管;

　　2排除酸性、堿性廢氣宜采用難燃型耐腐蝕玻璃鋼風(fēng)管或阻燃型塑料風(fēng)管;

　　3排除有機廢氣宜采用不銹鋼風(fēng)管;

　　4排除含有粉塵的空氣宜采用碳鋼風(fēng)管。

　　10.2.10潔凈區(qū)排風(fēng)管上應(yīng)采取防止室外空氣倒灌的措施。

　　10.2.11各動力站房應(yīng)有良好的通風(fēng)措施，宜采用自然通風(fēng);當(dāng)自然通風(fēng)不能滿足生產(chǎn)或安全、衛(wèi)生要求時，應(yīng)設(shè)置機械通風(fēng)或自然通風(fēng)與機械通風(fēng)的聯(lián)合通風(fēng)方式。

　　10.2.12現(xiàn)場分析室應(yīng)設(shè)置正壓通風(fēng)，正壓通風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置中效過濾。

10.3空氣調(diào)節(jié)與凈化

　　10.3.1廠房空氣潔凈度等級、溫度、濕度的設(shè)計應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝要求。

　　10.3.2存在下列情況之一時，空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)分開設(shè)置：

　　1凈化空調(diào)系統(tǒng)與一般空調(diào)系統(tǒng);

　　2空氣中含有易燃、易爆物質(zhì);

　　3容易產(chǎn)生交叉污染，對其他工序的產(chǎn)品質(zhì)量造成影響;

　　4對溫、濕度控制要求差別大;

　　5工藝設(shè)備散熱量相差懸殊。

　　10.3.3保證空氣潔凈度等級的送風(fēng)量應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　15級～8級潔凈室送風(fēng)量應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定;

　　2生產(chǎn)太陽能級多晶硅的還原爐室，當(dāng)空調(diào)系統(tǒng)為三級過濾時，其送風(fēng)量應(yīng)按換氣次數(shù)大于或等于6次/h計算。

　　10.3.4空調(diào)系統(tǒng)新風(fēng)量應(yīng)取下列兩項中的較大值：

　　1補償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需新風(fēng)量之和;

　　2保證供給室內(nèi)每人每小時的新風(fēng)量，潔凈區(qū)不應(yīng)小于40m3，非潔凈區(qū)不應(yīng)小于30m3。

　　10.3.5潔凈室送風(fēng)可采用集中送風(fēng)或風(fēng)機過濾機組送風(fēng)的方式。

　　10.3.6潔凈室與周圍區(qū)域的壓差應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1不同等級的潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa;

　　2潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應(yīng)小于5Pa;

　　3潔凈區(qū)與室外的壓差不應(yīng)小于10Pa。

　　10.3.7潔凈空調(diào)送風(fēng)、回風(fēng)和排風(fēng)系統(tǒng)的啟閉應(yīng)連鎖，正壓潔凈室連鎖程序應(yīng)為先啟動送風(fēng)機，再啟動回風(fēng)機和排風(fēng)機;關(guān)閉時連鎖程序應(yīng)相反。

　　10.3.8單向流和混合流潔凈室的空態(tài)噪聲級不應(yīng)大于65dB(A)，非單向流潔凈室的空態(tài)噪聲級不應(yīng)大于60dB(A)。

　　10.3.9還原車間應(yīng)獨立設(shè)置直流空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)，不應(yīng)回風(fēng)。

　　10.3.10腐蝕清洗室、硅棒破碎室、配件清洗室的空調(diào)送風(fēng)系統(tǒng)不宜回風(fēng)。

　　10.3.11潔凈空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)的新風(fēng)集中處理時，新風(fēng)處理機組應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1新風(fēng)應(yīng)經(jīng)過粗效過濾器處理;

　　2嚴(yán)寒地區(qū)新風(fēng)應(yīng)先預(yù)熱;

　　3送風(fēng)機宜采取變頻措施。

　　10.3.12空氣過濾器選用、布置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1空氣凈化處理應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級選用過濾器;

　　2空氣過濾器處理風(fēng)量不應(yīng)大于額定風(fēng)量;

　　3中效(高中效)空氣過濾器宜集中設(shè)置在空調(diào)系統(tǒng)的正壓段;

　　4亞高效和高效過濾器宜設(shè)置在凈化空調(diào)系統(tǒng)的末端。

　　10.3.13風(fēng)機過濾機組的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1應(yīng)根據(jù)空氣潔凈度等級和送風(fēng)量選用;

　　2送風(fēng)量應(yīng)能調(diào)節(jié);

　　3應(yīng)便于安裝、維修及過濾器更換。

　　10.3.14凈化空調(diào)系統(tǒng)的送風(fēng)機宜采用變頻裝置。

10.4防排煙

　　10.4.1多晶硅廠房防排煙系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)定。

　　10.4.2機械排煙系統(tǒng)宜與通風(fēng)、空調(diào)系統(tǒng)分別設(shè)置。排煙補風(fēng)系統(tǒng)宜與通風(fēng)、空調(diào)系統(tǒng)合用。

　　10.4.3機械排煙系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1排煙系統(tǒng)的密閉空間應(yīng)設(shè)置補風(fēng)系統(tǒng)，補風(fēng)量不宜小于排煙量的50%，且房間疏散門內(nèi)外的壓差不宜大于30Pa;

　　2發(fā)生火情時應(yīng)能手動和自動開啟對應(yīng)防煙分區(qū)的排煙口、排煙防火閥，應(yīng)同時啟動排煙風(fēng)機和補風(fēng)機。

10.5空調(diào)冷熱源

　　10.5.1冷熱源站應(yīng)根據(jù)總圖規(guī)劃、工藝布局、氣象條件、能源供應(yīng)狀況、輸送能耗等因素確定;集中冷熱源站宜獨立設(shè)置，也可在生產(chǎn)廠房內(nèi)設(shè)置。

　　10.5.2冷源設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1具有常年余熱蒸汽或熱水時，應(yīng)采用溴化鋰吸收式冷水機組供冷;

　　2無蒸汽或熱水作為熱源時，可采用電動壓縮式冷水機組供冷;

　　3具有多種能源時，可采用復(fù)合式能源供冷;

　　4夏熱冬冷地區(qū)、干旱缺水地區(qū)的辦公樓、宿舍樓、食堂等建筑，可采用空氣源或地源熱泵冷(熱)水機組供冷、供熱。

　　10.5.3熱源設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1應(yīng)選用工廠余熱作為供熱熱源，可加裝熱回收裝置或熱交換機組回收熱能;

　　2采用城市集中供熱熱源時，供熱管網(wǎng)及換熱站的設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)《城鎮(zhèn)供熱管網(wǎng)設(shè)計規(guī)范》CJJ34的有關(guān)規(guī)定;

　　3采用鍋爐供熱時，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《鍋爐房設(shè)計規(guī)范》GB50041的有關(guān)規(guī)定;

　　4工藝?yán)鋮s水可以利用且經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較合理時，可采用吸收式熱泵進(jìn)行熱回收供熱。

　　10.5.4制冷機設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1當(dāng)工藝需要的冷凍水參數(shù)與空調(diào)相同時，可使用同一制冷系統(tǒng)。

　　2制冷機臺數(shù)及調(diào)節(jié)性能應(yīng)滿足空氣調(diào)節(jié)及工藝?yán)湄?fù)荷需求，并應(yīng)滿足部分負(fù)荷運行的調(diào)節(jié)要求;不宜少于2臺;僅設(shè)1臺時，應(yīng)選擇調(diào)節(jié)性能優(yōu)良的機型。

　　3選用電動壓縮式冷水機時，制冷劑應(yīng)符合有關(guān)環(huán)保要求。

　　10.5.5冷熱源宜采用集中設(shè)置的冷熱水機組，制冷機組及供熱設(shè)備選型應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《公共建筑節(jié)能設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)》GB50189的有關(guān)規(guī)定。

　　10.5.6冷熱源站應(yīng)遠(yuǎn)離有防微振要求的工藝區(qū)域。

　　10.5.7冷熱水系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)符合下列規(guī)定：

　　1宜采用閉式一次泵系統(tǒng)。冷凍水系統(tǒng)較大、阻力較高、各環(huán)路負(fù)荷特性或壓力損失相差懸殊時，應(yīng)采用二次泵系統(tǒng)。二次泵宜根據(jù)流量變化采用變速變流量調(diào)節(jié)方式。

　　2定壓和膨脹應(yīng)采用高位膨脹水箱方式。

　　3冷水機組供回水設(shè)計溫差不應(yīng)小于5℃，技術(shù)經(jīng)濟比較合理時，可加大供回水溫差。

　　4保冷、保溫材料的主要技術(shù)性能應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《設(shè)備及管道絕熱設(shè)計導(dǎo)則》GB/T8175的要求確定，并宜選用導(dǎo)熱系數(shù)小、吸水率低、濕阻因子大、密度小的不燃或難燃的保冷、保溫材料。

11環(huán)境保護(hù)、安全和衛(wèi)生

11.1環(huán)境保護(hù)

　　11.1.1多晶硅工廠環(huán)境保護(hù)設(shè)計應(yīng)采用清潔生產(chǎn)工藝。

　　11.1.2多晶硅工廠環(huán)境保護(hù)設(shè)計應(yīng)遵守國家現(xiàn)行有關(guān)光伏制造行業(yè)規(guī)范條件的要求。

　　11.1.3污染物處理應(yīng)采用資源利用率高、污染物排放量少的設(shè)備和工藝，對處理過程中產(chǎn)生的二次污染應(yīng)采取相應(yīng)治理措施。

　　11.1.4多晶硅工廠應(yīng)設(shè)置生產(chǎn)廢氣回收處理設(shè)施，排放廢氣應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297中規(guī)定的排放限值后再對外排放。

　　11.1.5生產(chǎn)區(qū)內(nèi)雨水和廢水必須分流排放，生產(chǎn)廢水應(yīng)經(jīng)匯集后處理符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《污水綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB8978和當(dāng)?shù)丨h(huán)境保護(hù)規(guī)定后再排放。

　　11.1.6廢渣、廢液應(yīng)根據(jù)不同情況分別處理，含氯硅烷的廢液和含鎳的廢硅粉必須無害化處理，污水處理產(chǎn)生的中性渣應(yīng)外賣、渣場堆存或深埋處理。

　　11.1.7多晶硅工廠噪聲防治設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標(biāo)準(zhǔn)》GB12348的有關(guān)規(guī)定。

11.2安全

　　11.2.1安全評價應(yīng)符合國家有關(guān)規(guī)定和當(dāng)?shù)匾螅踩Ｗo(hù)設(shè)計應(yīng)符合批復(fù)的評價報告書的要求;勞動保護(hù)設(shè)施應(yīng)與主體工程同時設(shè)計、同時施工、同時投入使用。

　　11.2.2多晶硅工廠防火、防爆、消防等內(nèi)容設(shè)計均應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑設(shè)計防火規(guī)范》GB50016和《石油化工企業(yè)設(shè)計防火規(guī)范》GB50160的有關(guān)規(guī)定，防爆設(shè)計還應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《爆炸危險環(huán)境電力裝置設(shè)計規(guī)范》GB50058的有關(guān)規(guī)定。

　　11.2.3三氯氫硅合成、還原、四氯化硅氫化、還原尾氣干法回收、制氫站、氯硅烷罐區(qū)等裝置區(qū)內(nèi)，必須根據(jù)物料的危害特性和工況條件設(shè)置儀表檢測報警、自動連鎖保護(hù)系統(tǒng)、消防應(yīng)急聯(lián)動系統(tǒng)和緊急停車裝置。

11.3衛(wèi)生

　　11.3.1多晶硅工廠勞動衛(wèi)生設(shè)計應(yīng)符合國家和當(dāng)?shù)叵嚓P(guān)法律、法規(guī)以及標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，并且勞動衛(wèi)生設(shè)施應(yīng)與主體工程同時設(shè)計、同時施工、同時投入使用。

　　11.3.2類似氯硅烷貯罐區(qū)的裝置區(qū)應(yīng)設(shè)置緊急淋洗設(shè)施;有毒性物料的裝置區(qū)內(nèi)應(yīng)采取防塵、防毒設(shè)施，工作場所有害物質(zhì)濃度應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)工作場所有害因素職業(yè)接觸限值的規(guī)定。

　　11.3.3防噪、防振、防暑、防寒、防潮設(shè)計應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)工業(yè)企業(yè)設(shè)計衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，對產(chǎn)生超標(biāo)準(zhǔn)噪聲的設(shè)備應(yīng)采取消聲減振、隔振吸聲措施。

12節(jié)能、余熱回收

12.1一般規(guī)定

　　12.1.1多晶硅工廠節(jié)能設(shè)計應(yīng)貫穿在可行性研究、初步設(shè)計及施工圖設(shè)計的全過程;可行性研究、初步設(shè)計階段能耗指標(biāo)設(shè)計應(yīng)根據(jù)原料性能、產(chǎn)品品種、質(zhì)量及產(chǎn)量指標(biāo)等綜合因素確定節(jié)能技術(shù)措施、用電方案、預(yù)設(shè)能耗指標(biāo)及評價，也可提供不同工藝設(shè)備和采用節(jié)能技術(shù)措施前后能耗對比的數(shù)據(jù)。

　　12.1.2主要耗能設(shè)備宜選用高效節(jié)能型或低能耗產(chǎn)品，各專業(yè)設(shè)計應(yīng)多方案技術(shù)經(jīng)濟比較，應(yīng)選用節(jié)能效果好、技術(shù)可靠、經(jīng)濟合理的方案。

　　12.1.3各個生產(chǎn)裝置間應(yīng)符合安全間距的規(guī)定，并應(yīng)按物料輸送距離、管道長度和電纜長度較短的原則布置。

　　12.1.4多晶硅工廠各個工序的能耗指標(biāo)應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)光伏制造行業(yè)規(guī)范條件的規(guī)定和現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《多晶硅企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限額》GB29447有關(guān)準(zhǔn)入值的規(guī)定。

　　12.1.5多晶硅工廠生產(chǎn)線所采用的中小型三相異步電動機、容積式空氣壓縮機、通風(fēng)機、清水離心泵、三相變壓器等通用設(shè)備，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《中小型三相異步電動機能效限定值及能效等級》GB18613、《容積式空氣壓縮機能效限定值及能效等級》GB19153、《通風(fēng)機能效限定值及能效等級》GB19761、《清水離心泵能效限定值及節(jié)能評價值》GB19762、《三相配電變壓器能效限定值及能效等級》GB20052的有關(guān)規(guī)定。

12.2生產(chǎn)工藝

　　12.2.1還原爐應(yīng)選用高效率、低能耗的爐型。

　　12.2.2多晶硅生產(chǎn)應(yīng)采用先進(jìn)的精餾技術(shù)，并應(yīng)將多晶硅生產(chǎn)各工序進(jìn)行物料平衡和能量平衡計算，應(yīng)確定能耗低、經(jīng)濟性好、競爭力強的工藝流程。

　　12.2.3多晶硅生產(chǎn)應(yīng)優(yōu)化工藝、采暖、通風(fēng)、空調(diào)參數(shù)及換熱網(wǎng)絡(luò)，應(yīng)實現(xiàn)各種能量的梯級利用。

　　12.2.4多晶硅工廠應(yīng)利用多晶硅生產(chǎn)過程中的副產(chǎn)物。

　　12.2.5多晶硅工廠必須同步設(shè)計余熱利用系統(tǒng);還原爐和氫化反應(yīng)的余熱回收應(yīng)用于提純精餾塔再沸器的加熱，且余熱利用系統(tǒng)不應(yīng)影響多晶硅正常生產(chǎn)，不應(yīng)提高多晶硅能耗或降低產(chǎn)量。

　　12.2.6多晶硅生產(chǎn)過程應(yīng)選用節(jié)水、節(jié)能型產(chǎn)品，并應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《節(jié)水型產(chǎn)品通用技術(shù)條件》GB/T18870的有關(guān)規(guī)定。

　　12.2.7設(shè)備和管道應(yīng)選用保溫性能良好的絕熱材料，保溫設(shè)計應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《工業(yè)設(shè)備及管道絕熱工程設(shè)計規(guī)范》GB50264的有關(guān)規(guī)定。

　　12.2.8各裝置以及重要設(shè)備宜設(shè)置計量和檢測儀表，并宜設(shè)置調(diào)節(jié)控制裝置，以滿足全廠和各個系統(tǒng)單獨計量考核的要求。

　　12.2.9多晶硅工廠宜設(shè)置循環(huán)水系統(tǒng)、高純水系統(tǒng)、脫鹽水系統(tǒng)產(chǎn)生的潔凈廢水的回收和再利用設(shè)施。

附錄A地下管線與建(構(gòu))筑物之間的最小水平凈距

　　表A地下管線與建(構(gòu))筑物之間的最小水平凈距(m)

 

　　注：①特殊情況可酌減且最多減少1/2，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《電力工程電纜設(shè)計規(guī)范》GB50217的有關(guān)規(guī)定。

附錄B地下管線之間的最小水平凈距

　　表B地下管線之間的最小水平凈距(m)　

 

　　注：①特殊情況可酌減且最多減少1/2，應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《電力工程電纜設(shè)計規(guī)范》GB50217的有關(guān)規(guī)定。

　　②用隔板分隔或電纜穿管時可為0.1m。

附錄C主要房間空氣潔凈度、溫度、濕度

　　表C主要房間空氣潔凈度、溫度、濕度　

　

 

       注：腐蝕清洗室主要為生產(chǎn)半導(dǎo)體級多晶硅免洗料設(shè)置，在清洗設(shè)備上設(shè)置層流罩，保證在設(shè)備內(nèi)部空氣潔凈度達(dá)到5級。

本規(guī)范用詞說明

　　1:為便于在執(zhí)行本規(guī)范條文時區(qū)別對待，對要求嚴(yán)格程度不同的用詞說明如下：

　　1)表示很嚴(yán)格，非這樣做不可的：

　　正面詞采用“必須”，反面詞采用“嚴(yán)禁”;

　　2)表示嚴(yán)格，在正常情況下均應(yīng)這樣做的：

　　正面詞采用“應(yīng)”，反面詞采用“不應(yīng)”或“不得”;

　　3)表示允許稍有選擇，在條件許可時首先應(yīng)這樣做的：

　　正面詞采用“宜”，反面詞采用“不宜”;

　　4)表示有選擇，在一定條件下可以這樣做的，采用“可”。

　　2:條文中指明應(yīng)按其他有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行的寫法為：“應(yīng)符合……的規(guī)定”或“應(yīng)按……執(zhí)行”。