近年來隨著我國微電子制造、半導(dǎo)體業(yè)的發(fā)展,凈化車間的應(yīng)用也越來越廣泛,如微電子制造 、半導(dǎo)體 、生物制藥、汽車電子、食品加工等行業(yè)都在應(yīng)用潔凈技術(shù),因此,凈化車間的施工對我們來說也就越來越重要。
凈化車間是指將一定空間范圍之內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計的房間。
建設(shè)凈化車間工程是涉及到眾多學(xué)科的綜合型工程,好的設(shè)計方案是工程完美實現(xiàn)的基礎(chǔ),也是前提條件。當(dāng)前,科學(xué)技術(shù)日新月異,各類工業(yè)產(chǎn)品加工生產(chǎn)過程趨向精密化、微型化,特別是微電子、生物、藥品、精密機械加工等高速發(fā)展,使?jié)崈艏夹g(shù)得到日益廣泛的應(yīng)用。潔凈廠房設(shè)計的主要任務(wù)是控制生產(chǎn)環(huán)境中的含塵數(shù)量,保障室內(nèi)合格的潔凈度。方案設(shè)計是前提,施工安裝是基礎(chǔ)。所有優(yōu)秀的設(shè)計都需要施工安裝才能落地實施。根據(jù)多年施工經(jīng)驗,分享一種凈化車間施工技術(shù)和工藝,僅供大家參考。本工藝主要適用于電子、半導(dǎo)體廠 房的凈化車間的制作、安裝、測試,同時也適用于醫(yī)藥、食品等廠房的潔凈室的施工 。
按各施工工序結(jié)合潔凈管制要求,施工進(jìn)行分區(qū)和分階段進(jìn)行施工和管制。分成四區(qū)進(jìn)行安全有序的施工,分成三階段進(jìn)行施工管制:
一般潔凈階段 :
指常規(guī)的設(shè)備安裝階段,包括一些機械設(shè)備、送排風(fēng)系統(tǒng)及吊頂支架等的安裝。這個階段的旌工主要圍繞產(chǎn)塵工序,在四周壁板安裝前,要檢查地面、設(shè)備基礎(chǔ),根據(jù)施工現(xiàn)場做初步 的地面處理,避免在做環(huán)氧前產(chǎn)生大量灰塵,壁板放好基準(zhǔn)線后,可以局部安裝壁板,以方便上層吊頂板的定位上層吊頂板定位后要及時核對所有預(yù)留洞,金屬壁板安裝前,所有在水泥基層上產(chǎn)塵的作業(yè)都應(yīng)施工完畢,隨后就可進(jìn)行四周壁板和上層吊頂板的安裝J:層吊頂板安裝完畢,靜壓箱內(nèi)的水電安裝開始進(jìn)行,這是一道關(guān)鍵工序,涉及的專業(yè)多,關(guān)系著整個施工的進(jìn)度,因此必須在施工前對安裝的交叉部位進(jìn)行剖面分析,總的安裝順序遵從風(fēng)管一水管路一橋架一電氣、消防管線 。
由于架空地板的放線需要根據(jù)頂板的龍骨位置定位。所以干盤管的安裝不能保證一次到位, 必須采用可調(diào)節(jié) 式,現(xiàn)場采用c型鋼導(dǎo)軌式安裝方式。為增加支吊架的承載,導(dǎo)軌安裝時牙桿需穿過上層吊頂板與水泥樓板固定,考慮上層吊頂板采用的是巖棉金屬壁板,為減少產(chǎn) 塵,牙桿需套橡膠墊用鎖母與上項板鎖緊。所有在上頂板固定的燈具和消防設(shè)備,采用自攻螺絲時都應(yīng)套上橡膠墊固定。由于這道工序安裝時間長、施工區(qū)域大,所以在安裝前,應(yīng)對安裝區(qū)域進(jìn)行劃分,分區(qū)域完善,以便吊頂龍骨按區(qū)域及時插入施工。對于區(qū)域內(nèi)的外大門和一些預(yù)留洞,要采用?。校郑冒宸舛?。以上工作完成后要及時組織驗收,辦理隱蔽工程報驗。
施工過程要控制好成品的保護(hù)和環(huán)境因素,由于四周壁板已安裝完畢。在其他專業(yè)安裝時如不注意很容易造成壁板的損害,因此水電安裝前一方面要加強教育,另一方面要在四周拉上警示帶,以提醒施工人員,潔凈室環(huán)境的前期控制對施工的后期管理有很重要的意義,要使施工人員從一開始就要養(yǎng)成良好的環(huán)境意識,另外每天還需安排固定人員進(jìn)行清掃。在以上工作臨近結(jié)束前,清潔工作要避免用水,采用吸塵器清潔,以便為自流平的施工創(chuàng)造條件。
非常潔凈階段 :
此階段自流平己施工完畢,頂上部安裝工作己基本完成 ,因此進(jìn)入潔凈室內(nèi)的施工以及進(jìn)入人數(shù)都要進(jìn)行不同于第一階段的控制。一般設(shè)備的工藝管線都會布置在此區(qū)域,故安裝前也必須進(jìn)行認(rèn)真的分析,避免專業(yè)交叉造成安裝困難,地板下的管線需要固定在架空地板的立柱上,采用u型卡固定C型鋼作為管線的支架,所有支架都要保證良好的鍍鋅層,C型鋼兩頭要作好封堵,內(nèi)部產(chǎn)生的垃圾要及時清理。架空地板在內(nèi)隔墻安裝前應(yīng)用 PVC薄膜進(jìn)行防護(hù) 。
隔墻和風(fēng)淋室等安裝完后,要組織地板下的隱蔽驗收。驗收合格后,現(xiàn)場需要組織全面的清理工作,包括靜壓箱內(nèi)的所有安裝完畢的材料及設(shè)備。全面清理完成后,可以進(jìn)行壁板的撕膜打膠工作。此項工作完成后,工程進(jìn)入潔凈管制階段 。
超級潔凈階段:
指潔凈室結(jié)構(gòu)完成后的最后施工階段。在此階段,主要進(jìn)行高效過濾器、風(fēng)淋室等對潔凈等級有極高的要求的設(shè)備的安裝,包括工藝管線以及一些測試工作。此階段的施工需要按照正式的潔凈要求進(jìn)行管制:人員進(jìn)入需要登記和辦理批準(zhǔn)手續(xù):全部人員需 要穿潔凈服和從風(fēng)淋室進(jìn)入:工作區(qū)域要有專門穿潔凈服清潔的人員:所有磨 、切 、割工作都應(yīng)在工作區(qū)外進(jìn)行。空吹結(jié)束后,工程進(jìn)入空態(tài)測試階段。
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