半導(dǎo)體生產(chǎn)制造按照其制造技術(shù)大致可以分為:集成電路器件、分立器件、光電半導(dǎo)體、邏輯IC、模擬IC、儲存器等大類,如若細(xì)分還會有更多的分類方式。半導(dǎo)體器件的生產(chǎn)對生產(chǎn)環(huán)境要求很嚴(yán),其涉及數(shù)百個制造工序,由于其生產(chǎn)技術(shù)的特殊性,為了產(chǎn)品的質(zhì)量及使用壽命,對生產(chǎn)場所的環(huán)境,如溫度、濕度,壓力、通排風(fēng)量、潔凈度等都有嚴(yán)格要求。
一般在達到百級的半導(dǎo)體潔凈室平面裝修方案中,設(shè)計師會依然會和千級、萬級、十萬級等潔凈標(biāo)準(zhǔn)一樣依據(jù)人流和物流凈化流向來做精確的布局和配套系統(tǒng)設(shè)計:
工作人員的凈化路線為:
入口→換鞋→更換外出服→洗浴→清潔走廊→二次洗浴→換潔凈服→風(fēng)淋室→潔凈生產(chǎn)區(qū)。
物品的凈化路線為:
入口→原料庫→粗潔凈→傳遞窗→精潔凈→傳遞窗→潔凈生產(chǎn)區(qū)→傳遞窗→包裝→成品庫。
按照兩種凈化路線,分別依工藝布局潔凈區(qū)與輔助用房。其他空氣凈化機房、超純水處理站可以安排在同一層,使?jié)崈艨諝狻⒓儍羲ㄟ^技術(shù)管道夾層送到潔凈生產(chǎn)區(qū)。消防控制室、消防水泵房、自備發(fā)電機房、配電室、防排煙機房、生活用房、值班室、衛(wèi)生間等都需依據(jù)“建筑設(shè)計防火規(guī)范”和“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”的要求設(shè)置布局。
在配套系統(tǒng)技術(shù)層面,以暖通空調(diào)系統(tǒng)的節(jié)能布局來說,分區(qū)也要以下列內(nèi)容為參照依據(jù):
1、潔凈度,溫、濕度及其精度相同或相近的潔凈房間宜劃為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。便于潔凈度和溫、濕度的控制。
2、距離較近的潔凈房間宜劃為一個系統(tǒng),可減少系統(tǒng)管道的長度和管道交叉。
3、有條件時可將4級、5級單向流和6級、7級、8級非單向流組成混合流凈化空調(diào)系統(tǒng)。
4、潔凈室不宜與一般空調(diào)房間合為一個系統(tǒng)。
5、使用規(guī)律和使用時間不相同的潔凈室不宜合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。
6、產(chǎn)塵量大、發(fā)熱量大、有害物多、噪聲大的房間宜單獨設(shè)計為一個系統(tǒng)。
7、混合后會產(chǎn)生劇毒、引起火災(zāi)和爆炸的房間不應(yīng)合為一個凈化空調(diào)系統(tǒng)。
8、有劇毒和易燃易爆的甲、乙類房間應(yīng)單獨設(shè)系統(tǒng),而且應(yīng)為不回風(fēng)的直流系統(tǒng)。
半導(dǎo)體無塵車間的建設(shè)涉及的專業(yè)內(nèi)容很多,譬如在各種生產(chǎn)和封裝過程中建立起靜電防護系統(tǒng)也很有必要,像IC封裝生產(chǎn)線對靜電的更為嚴(yán)格。為了保證生產(chǎn)線的正常運行,合景凈化工程公司這類潔凈廠房集成服務(wù)商還會對其建設(shè)的潔凈廠房進行防靜電建設(shè),當(dāng)中也會涉及很多專用材料的篩選、結(jié)構(gòu)維護工程、暖通工程、特種氣體工程、空壓氣體工程、廢氣工程、電氣工程、弱電系統(tǒng)工程、智能平臺、純水工程及廢水處理工程這些配套系統(tǒng),如何讓這些系統(tǒng)更好的服務(wù)于每個車間,以達到半導(dǎo)體廠房整體既滿足工藝和產(chǎn)能需求,還盡可能地實現(xiàn)節(jié)能減排要求,可以多借鑒合景凈化工程公司的建設(shè)經(jīng)驗。
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