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電子無塵車間的氣流特點

發(fā)布時間:2021-09-19
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檢查電子無塵車間工作正常所進行的各項測試中,其中一項就是對室內(nèi)氣流的檢查。這是整個測試程序的重要組成部分。為了稀釋或消除室內(nèi)的懸浮污染,從而防止污染在室內(nèi)的積累,室內(nèi)必須有充分的氣流流動,所以對氣流必須進行檢測。

在紊流潔凈室中,風(fēng)的輸送和混合都是紊流方式進行的。為確保污染物被清楚,電子無塵車間的各個部分必須均實現(xiàn)良好的空氣混合。在單向流凈化車間中,為保證關(guān)鍵區(qū)域達到理想潔凈的水平,其送風(fēng)直接來自高效過濾器。


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電子無塵車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須:

1吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異;
2地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。

影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設(shè)備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時對于生產(chǎn)設(shè)備上方氣流的分流點,亦應(yīng)列入考慮因素。


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電子無塵車間一般操作臺或生產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點,應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業(yè)人員工作時,氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向作業(yè)區(qū),而將微塵帶走;若分流點配置在制程區(qū)前方,將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至?,此時大部份的氣流將流至制程區(qū)之后,作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。
無塵車間內(nèi)的工作等障礙物,在相接處均會有渦流現(xiàn)象發(fā)生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風(fēng)孔,將使渦流現(xiàn)象減少變得很低;組裝材料選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。

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