前言:無塵車間的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、尖端技術(shù)緊密的聯(lián)系在一起。目前在生物制藥、醫(yī)療器械、食品日化、電子光學、能源電池、精密器械等行業(yè)運用已經(jīng)相當?shù)钠毡榍页墒臁?
空氣潔凈度等級(air cleanliness class):潔凈空間單位體積空氣中,以大于或等于被考慮粒徑的粒子最大濃度限值進行劃分的等級標準。國內(nèi)按空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)對無塵車間進行測試、驗收,符合《GB50073-2013 潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》、《GB50591-2010 潔凈室施工及驗收規(guī)范》。
潔凈度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗無塵車間質(zhì)量的核心標準,該標準根據(jù)區(qū)域環(huán)境、潔凈程度等因素,分為若干等級,常用的有國際標準和國內(nèi)區(qū)域行業(yè)標準。,下面合景凈化工程公司為大家講解如下等級標準。
ISO14644-1國際標準—空氣潔凈度等級劃分
GB50073-2013 國家標準—空氣潔凈度等級
中國GMP(2010年修訂)新版GMP附錄1 無菌藥品.第三章.第九條……潔凈區(qū)各級別空氣懸浮粒子的標準規(guī)定如下
各國潔凈度等級近似對照表
無塵車間(潔凈室)等級說明
首先是等級定義的模式如下:
Class X (at Y μm )
其中X是無塵室的等級,例如100或10000等等,Y是粒徑如0.2μm , 0.5μm等,可復(fù)選。意思就是使用者規(guī)定,該無塵室微粒含量,在這些粒徑必須滿足該等級的限度。這樣可以減少紛爭,以下是幾個例子:
Class1 (0.1μm, 0.2μm , 0.5μm)
Class 100(0.2μm , 0.5μm )
Class 100(0.1μm, 0.2μm , 0.5μm )
在Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000....),一般看一個粒徑即可。在Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1.... ),一般要看多幾個粒徑。
第二個技巧是規(guī)定無塵室的狀態(tài),例如:
Class X (at Y μm ),At-rest
供貨商就很清楚知道無塵室要在At-rest狀態(tài)下驗收。
第三個技巧是自訂微粒濃度上限,一般在As-built時無塵室都很干凈,微??刂颇芰y試不易,這時可以干脆把驗收上限壓低,例如:
Class 10000 (0.3 μm <= 10000),As-built
Class 10000 (0.5 μm <= 1000),As-built
這樣做的目的是確保無塵室在Operational狀態(tài)時,依然有足夠的微??刂颇芰?。
半導(dǎo)體行業(yè)潔凈室案例圖集
半導(dǎo)體潔凈室(高架地板)常應(yīng)用于百級和千級區(qū)域
常規(guī)半導(dǎo)體潔凈室(潔凈區(qū):萬級至十萬級)
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