2023-02-25
集成電路無塵車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,該無塵車間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。
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工業(yè)凈化廠房建設(shè)