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  • 半導體晶圓廠潔凈車間設計建設布局指標要點
    半導體晶圓廠潔凈車間設計建設布局指標要點
    2022-02-21
    潔凈車間最主要的作用就在其能控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)。在晶圓車間中,為了解決晶圓測試中良率不佳、測試結果不穩(wěn)定,探針測試卡的損毀及晶圓的報廢這些問題,潔凈室及輔助室的設計就該是廠區(qū)建設的首要任務之一
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